申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-05-15

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111430260A

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101);G01B21/20(20060101);G01B21/08(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.07#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：本发明提供一种晶圆检测方法，对待测晶圆的多个位置进行检测，得到待测晶圆的检测厚度，而后利用豪斯多夫距离计算检测厚度和基准厚度的相似度，在计算得到相似度之后，利用相似度表征待测晶圆的形貌。这样，不需要通过多个参数表征晶圆的形貌，仅通过相似度一个参数便可以反映出待测晶圆的形貌情况，相似度越小表示待测晶圆的形貌较好，相似度越大表示待测晶圆的形貌较差，从而提高形貌检测的效率。

主权项：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，包括：对待测晶圆的多个位置进行检测，得到所述待测晶圆的检测厚度；利用豪斯多夫距离计算所述检测厚度和基准厚度的相似度；利用所述相似度表征所述待测晶圆的形貌。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 一种晶圆检测方法及装置

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