申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

申请日：2018-07-05

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN108914055B

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权;2018.12.25#实质审查的生效;2018.11.30#公开

摘要：本发明提供了一种掩模板及蒸镀设备，该掩模板包括：设有多个像素开口的第一掩模板，包括第一预设区域和第二预设区域；叠放于第一掩模板一侧的第二掩模板，包括第第一投影区域及第二投影区域；多个像素开口在第一预设区域分为至少一个第一子区域，第二掩模板在第一投影区域设有第一开口部，第一子区域与至少一个第一开口部正对，第一开口部在第一掩模板上的正投影落入对应的第一子区域内；多个像素开口在第二预设区域处分为多个第二子区域，第二掩模板在第二投影区域设有多个第二开口部，每一第二子区域与一个第二开口部正对，每一第二子区域在第二掩模板的正投影落入对应的第二开口部内。本发明的掩模板及蒸镀设备在蒸镀时可减少混色类不良。

主权项：1.一种掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀；其特征在于，包括：第一掩模板，所述第一掩模板设有多个像素开口，所述第一掩模板包括第一预设区域和第二预设区域；及，叠放于所述第一掩模板一侧的第二掩模板，所述第二掩模板包括所述第一预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第一投影区域、及所述第二预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第二投影区域；其中，多个所述像素开口在所述第一预设区域分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在所述第一投影区域设有第一开口部，所述第一开口部的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域与至少一个所述第一开口部正对，且所述第一开口部在所述第一掩模板上的正投影落入对应的所述第一子区域内；多个所述像素开口在所述第二预设区域处分为多个第二子区域，所述第二子区域的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第二掩模板在所述第二投影区域设有多个第二开口部，每一所述第二子区域与一个所述第二开口部正对，且每一所述第二子区域在所述第二掩模板上的正投影落入对应的所述第二开口部内。

全文数据：一种掩模板及蒸镀设备技术领域[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种掩模板及蒸镀设备。背景技术[0002]在OLEDOrganicLightEmissionDisplay，有机电致发光二极管）制造技术中，真空蒸镀用的掩膜板是至关重要的部件，掩膜板的质量直接影响着生产制造成本和产品质量。0LED蒸镀过程用的掩膜板中，精细金属掩膜板FineMetalMask，简称:FMM是其中最关键的装备之一。FMM用于蒸镀发光层材料，在背板上形成像素图形，因此，FMM质量的好坏直接关系到屏幕的显示效果。[0003]随着AMOLEDActive-matrixorganiclightemittingdiode，有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体显示屏的快速发展，已经应用到人们生活中的各个领域，尤其，最近在智能可穿戴领域的需求量迅速增多，并且显示屏形状已不仅仅是传统的方形屏幕，而是更具有设计感的形状的圆形等异形形状。[0004]这种例如圆形等异形形状的0LED产品对于蒸镀掩膜板的要求比较高，目前，圆形等异形形状的0LED产品所采用的蒸镀掩模板，主要有以下两种：[0005]第一种，遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板FMM组合式蒸链掩模板，这种蒸键掩模板是在FMM下方叠放一张CoverOpenMask，CoverOpenMask上进行显示区域的异形形状图案化设计，g卩，在CoverOpenMask上形成有异形形状的开口图案，用以限定出显示区域的形状，FmQ：不进行图案化设计，g卩，FMM上不用限定显示区域的异形形状，仅形成阵列分布的多个像素开口；[0006]第二种，遮挡条和支撑条CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合式蒸镀掩模板，这种蒸镀掩模板是在FMM下方设置横纵交错的遮挡条与支撑条，其中，在FMM上需进行图案化设计，也就是说，FMM上设有多个像素开口，且多个像素开口的分布形状用于限定出显示区域为圆形等异形形状。[0007]这两种结构的蒸镀掩模板在进行蒸镀时，会在显示基板的不同区域处产生混色等蒸镀不良。发明内容[0008]本发明的目的在于提供一种掩模板及蒸镀设备，能够改善现有技术中蒸镀掩模板所存在的混色等蒸镀不良的问题。[0009]本发明所提供的技术方案如下：[0010]—种掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀;包括：[0011]第一掩模板，所述第一掩模板设有多个像素开口，所述第一掩模板包括第一预设区域和第二预设区域；[0012]及，叠放于所述第一掩模板一侧的第二掩模板，所述第二掩模板包括所述第一预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第一投影区域、及所述第二预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第二投影区域；[0013]其中，多个所述像素开口在所述第一预设区域分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在所述第一投影区域设有第一开口部，所述第一开口部的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域与至少一个所述第一开口部正对，且所述第一开口部在所述第一掩模板上的正投影落入对应的所述第一子区域内；[0014]多个所述像素开口在所述第二预设区域处分为多个第二子区域，所述第二子区域的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第二掩模板在所述第二投影区域设有多个第二开口部，每一所述第二子区域与一个所述第二开口部正对，且每一所述第二子区域在所述第二掩模板上的正投影落入对应的所述第二开口部内。[0015]进一步的，所述第一预设区域为所述第一掩模板的中间区域，所述第二预设区域为所述第一掩模板的周边区域，所述周边区域围绕于所述中间区域的四周。[0016]进一步的，所述第二掩模板在所述第二投影区域处设有多个支撑条和多个遮挡条，多个所述支撑条和多个所述遮挡条纵横交错设置，形成多个所述第二开口部。[0017]进一步的，所述第二掩模板在所述第一投影区域处为一板状结构，所述第一开口部开设于所述板状结构上。[0018]进一步的，所述第二掩模板在所述第二投影区域处、所述支撑条与所述遮挡条连接为一体结构。[0019]进一步的，所述支撑条、所述遮挡条与所述板状结构连接为一体结构。[0020]进一步的，所述第一开口部与所述第二子区域的形状均为圆形或椭圆形。[0021]进一步的，所述第一子区域呈矩形形状，所述第二开口部呈矩形形状。[0022]进一步的，所述第一子区域的数量与所述第一开口部的数量相同，一个所述第一子区域对应一个所述第一开口部。[0023]一种蒸镀设备，包括如上所述的掩模板。[0024]本发明所带来的有益效果如下：[0025]上述方案中，所述第一掩模板在第一预设区域处分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在第一投影区域设第一开口部，且所述第一开口部的形状用于限定显示基板上的显示区域形状，第一开口部在第一掩模板上的正投影落入对应的第一子区域内，这样，是采用了遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板FMM组合的结构，在第一掩模板上仅设置像素开口，而不进行显示区域的形状图案化设计，而是利用第二掩模板上开设的第一开口部进行显示区域的形状图案化设计;所述第一掩模板在第二预设区域处分为多个第二子区域，且所述第二掩模板在第二投影区域处设第二开口部，且所述第二子区域的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，每一所述第二子区域在所述第二掩模板上的正投影落入对应的所述第二开口部内，这样，是采用了遮挡条和支撑条（CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合的结构，在所述第一掩模板上不仅设置像素开口，还进行显示区域的形状图案化设计。[0026]上述方案，由于遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板F醒组合的结构和遮挡条和支撑条CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合的结构会在进行蒸镀时，在显示基板的不同区域处产生混色等蒸镀不良，而上述方案，通过在不同区域处，分别采用遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板FMM组合的结构、和遮挡条和支撑条CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合的结构，这样，可以在遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板FMM组合的结构易产生混色等不良的区域，采用遮挡条和支撑条CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合的结构，而在遮挡条和支撑条CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合的结构易产生混色等蒸镀不良的区域采用遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板FMM组合的结构，由此实现在蒸镀时使整个掩模板与显示基板贴合舒展最大化，减少褶皱区域面积，减少混色类不良的目的。附图说明[0027]图1表示本发明实施例中的掩模板中第一掩模板的结构示意图；[0028]图2表示本发明实施例中的掩模板中第二掩模板的结构示意图；[0029]图3表示传统的采用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板进行蒸镀后的蒸镀不良结构示意图；[0030]图4表示传统的采用支撑条和遮挡条与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板进行蒸镀后的蒸镀不良结构示意图。具体实施方式[0031]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0032]针对现有技术中蒸镀掩模板存在混色等蒸镀不良的问题，本发明实施例中提供了一种掩模板及蒸镀设备，能够改善混色等蒸镀不良问题。[0033]如图1和图2所示，本发明实施例所提供的掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀;所述掩模板包括：[0034]第一掩模板100,所述第一掩模板100设有多个像素开口101，所述第一掩模板100包括第一预设区域A和第二预设区域B;[0035]及，叠放于所述第一掩模板100—侧的第二掩模板200,所述第二掩模板200包括所述第一预设区域A在所述第二掩模板200上的正投影所对应的第一投影区域A’、及所述第二预设区域B在所述第二掩模板200上的正投影所对应的第二投影区域B’；[0036]其中，多个所述像素开口101在所述第一预设区域A分为至少一个第一子区域l〇〇a，所述第二掩模板200在所述第一投影区域A’设有第一开口部201，所述第一开口部201的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域100a与至少一个所述第一开口部201正对，且所述第一开口部201在所述第一掩模板100上的正投影落入对应的所述第一子区域100a内；[0037]多个所述像素开口101在所述第二预设区域B处分为多个第二子区域l〇〇b，所述第二子区域100b的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第二掩模板200在所述第二投影区域B’设有多个第二开口部202，每一所述第二子区域100b与一个所述第二开口部202正对，且每一所述第二子区域100b在所述第二掩模板200上的正投影落入对应的所述第二开口部202内。[0038]上述方案中，所述第一掩模板100在第一预设区域A处分为至少一个第一子区域l〇〇a，所述第二掩模板200在第一投影区域A’设第一开口部201，且所述第一开口部201的形状用于限定显示基板上的显示区域形状，第一开口部201在第一掩模板100上的正投影落入对应的第一子区域l〇〇a内，这样，是采用了遮挡式开口掩模板CoverOpenMask与精细金属掩模板FMM组合的结构，在第一掩模板100上仅设置像素开口101，而不进行显示区域的形状图案化设计，而是利用第二掩模板200上开设的第一开口部201进行显示区域的形状图案化设计；[0039]所述第一掩模板100在第二预设区域B处分为多个第二子区域100b，且所述第二掩模板200在第二投影区域B’处设第二开口部202,且所述第二子区域100b的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，每一所述第二子区域l〇〇b在所述第二掩模板200上的正投影落入对应的所述第二开口部202内，这样，是采用了遮挡条和支撑条（CoverHowlingstick与精细金属掩模板FMM组合的结构，在所述第一掩模板100上不仅设置像素开口101，还进行显示区域的形状图案化设计。[0040]由于遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合的结构和遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合的结构会在进行蒸镀时，在显示基板的不同区域处产生混色等蒸镀不良，而上述方案，通过在不同区域处，分别采用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合的结构、和遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合的结构，这样，可以在遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合的结构易产生混色等不良的区域，采用遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合的结构，而在遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合的结构易产生混色等蒸镀不良的区域采用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合的结构，由此，实现在蒸镀时使整个掩模板与显示基板贴合舒展最大化，减少褶皱区域面积，减少混色类不良的目的。[0041]需要说明的是，上述方案中，所述第一预设区域A即为采用遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合的结构易产生混色等蒸镀不良的区域;所述第二预设区域B即为采用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合的结构易产生混色等蒸镀不良的区域。[0042]所述第一预设区域A和所述第二预设区域B可以是采用现有技术中的遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板、及遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板分别进行蒸镀，根据蒸镀后显示基板上混色等蒸镀不良所分布的位置来进行分析确定。例如：[0043]以1•4watch显示产品为例，采用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板进行蒸镀，蒸镀后不良分析结果为蒸镀掩模板的四周周边区域混色类不良高发，而整个蒸镀掩模板的中间区域混色类不良较少如图3所示）；[0044]采用遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板进行蒸镀，蒸镀后不良分析结果为蒸镀掩模板的中间区域混色类不良高发，而整个蒸镀掩模板的四周周边区域混色类不良较少如图4所示）。[0045]因此，在本发明所提供的实施例中，示例性的，如图1和图2所示，所述第一预设区域A为所述第二掩模板200的中间区域，所述第二预设区域B为所述第二掩模板200的周边区域，所述周边区域围绕于所述中间区域的四周。[0046]采用上述方案，在整个掩模板的中间区域采用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合的结构，可改善整个掩模板在中间区域混色不良；而周边区域采用遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合的结构，可改善整个掩模板在周边区域混色不良，从而，两种结构组合，制作掩膜板，可在蒸镀时使掩模板与显示基板贴合舒展最大化，减少褶皱区域面积，减少混色类不良。[0047]当然可以理解的是，在实际应用中，所述第一预设区域A和所述第二预设区域B的位置并不仅限于此，在不同型号显不产品中，也可能是分布于其他位置，在此仅是一种示例，并不对此进行限定。[0048]此外，在本发明实施例所提供的掩模板中，所述掩模板还包括一框架300,所述第一掩模板1〇〇及所述第二掩模板200的四周边缘均固定于框架300上。[0049]此外，在本发明实施例所提供的掩模板中，所述第二掩模板200在所述第二投影区±或庄处设有多个支撑条211和多个遮挡条212,多个所述支撑条211和多个所述遮挡条212纵横交错设置，形成多个所述第二开口部202。[0050]采用上述方案，所述第二掩模板200在所述第二投影区域B’处通过设置纵横交错的支撑条211和遮挡条212,来形成所述第二开口部202,这样结构与传统的用于分析蒸镀不良分布位置的对照用遮挡条和支撑条与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板结构相似，可以避免由于第二掩模板200的第二投影区域B’结构与进行分析对照用蒸镀掩模板结构不同等其他因素导致的不良产生。[0051]应当理解的是，在实际应用中，所述第二掩模板200在所述第二投影区域B’处也可以是设置为一张板，在该板上开设第二开口部202,保证每一所述第二子区域100b在所述第二掩模板200上的正投影落入对应的所述第二开口部202内即可。[0052]此外，在本发明实施例所提供的掩模板中，所述第二掩模板200在所述第一投影区±或八’处为一板状结构，所述第一开口部201开设于所述板状结构上。[0053]采用上述方案，所述第二掩模板200在所述第一投影区域A’处通过设置一板状结构，在该板状结构上，这样结构与传统的用于分析蒸镀不良分布位置的对照用遮挡式开口掩模板与精细金属掩模板组合式蒸镀掩模板的结构相似，可以避免由于第二掩模板200的第一投影区域A’结构与进行分析的对照用蒸镀掩模板结构不同等其他因素导致的不良产生。[0054]应当理解的是，在实际应用中，所述第二掩模板200在所述第一投影区域A’处也可以是设置为其他结构，只需保证所述第一开口部201在所述第一掩模板100上的正投影落入对应的所述第一子区域l〇〇a内即可。[0055]此外，在本发明所提供的示例性实施例中，所述第二掩模板200在所述第二投影区域B’处、所述支撑条211与所述遮挡条212连接为一体结构。[0056]采用上述方案，可以将所述第二掩模板200上的支撑条211和遮挡条212制作为一体结构，当然可以理解的是，在实际应用中也可以是支撑条211和遮挡条212单独设置。[0057]并且，进一步优选的，所述支撑条211、所述遮挡条212与所述板状结构连接为一体结构。[0058]采用上述方案，可以将所述第二掩模板200设计为一体结构，所述第二预设区域B位于周边区域时，即，所述支撑条211和所述遮挡条2丨2位于周边区域时，支撑条211或遮挡条212的一端可焊接在框架300上，另一端与所述板状结构连接。[0059]此外，需要说明的是，在本发明所提供的实施例中，所述第一开口部201与所述第二子区域l〇〇b的形状均为圆形或椭圆形;所述第一子区域i〇〇a呈矩形形状，所述第二开口部202呈矩形形状。[0050]采用上述方案，所述掩模板可以应用于圆形或椭圆形等异形形状的显示屏制作，由于第一开口部201和第二子区域100b用于限定显示区域的形状，因此，所述第一开口部201与所述第二子区域100b设计为圆形或椭圆形，在实际应用中，并不限于圆形和椭圆形，可根据实际显示产品的显示区域形状进行设计；[0061]而所述第二开口部202均呈矩形形状，这是由于传统的采用支撑条211和遮挡条212与FMM组合的蒸镀掩模板上支撑条211与遮挡条212交叉设置形成的开口为规则矩形，且第二开口部202不用于限于显示区域的形状，其为矩形，在第二掩模板2〇〇张网时，相较于其他形状，不会产生应力不均导致的褶皱等问题；[0062]而所述第一子区域100a呈矩形，这是由于第二开口部202为矩形与传统的遮挡式开口掩模板与FMM组合的蒸镀掩模板上，像素单元排列时分布区域为规则矩形，制作工艺相较于所述第一子区域100a为其他形状来说也更为简单。[0063]此外，在本发明所提供的实施例中，如图所示，所述第一子区域100a的数量与所述第一开口部201的数量相同，一个所述第一子区域l〇〇a对应一个所述第一开口部201。[0064]采用上述方案，在第一掩模板100的第一预设区域A，多个像素单元可以划分为至少两个第一子区域100a分布，且一个第一子区域l〇〇a对应一个第一开口部201设置，在实际应用中，所述第一掩模板100的第一预设区域A处多个像素单元也可以不进行区域划分，即，仅设有一个第一子区域100a，该第一子区域100a可与全部的第一开口部201对应设置。[0065]此外，还需要说明的是，如图1所示，本发明实施例所提供的掩模板中，所述第一掩模板100可以由多个掩模条110拼接而成，且如图1所示，在每一掩模条110上对应第一预设区域A处仅设置多个像素开口101，多个像素开口1〇1分布有至少一个第一子区域100a，即，而不进行显示区域的形状图案化设计，在每一掩模条110对应第二预设区域B处则将像素开口101划分为多个第二子区域100b设置。[0066]此外，本发明实施例中还提供了一种蒸镀设备，包括本发明实施例中所提供的掩模板。[0067]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

权利要求：1.一种掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀;其特征在于，包括：第一掩模板，所述第一掩模板设有多个像素开口，所述第一掩模板包括第一预设区域和第二预设区域；及，叠放于所述第一掩模板一侧的第二掩模板，所述第二掩模板包括所述第一预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第一投影区域、及所述第二预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第二投影区域；其中，多个所述像素开口在所述第一预设区域分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在所述第一投影区域设有第一开口部，所述第一开口部的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域与至少一个所述第一开口部正对，且所述第一开口部在所述第一掩模板上的正投影落入对应的所述第一子区域内；多个所述像素开口在所述第二预设区域处分为多个第二子区域，所述第二子区域的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第二掩模板在所述第二投影区域设有多个第二开口部，每一所述第二子区域与一个所述第二开口部正对，且每一所述第二子区域在所述第二掩模板上的正投影落入对应的所述第二开口部内。2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一预设区域为所述第一掩模板的中间区域，所述第二预设区域为所述第一掩模板的周边区域，所述周边区域围绕于所述中间区域的四周。3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第二掩模板在所述第二投影区域处设有多个支撑条和多个遮挡条，多个所述支撑条和多个所述遮挡条纵横交错设置，形成多个所述第二开口部。4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述第二掩模板在所述第一投影区域处为一板状结构，所述第一开口部开设于所述板状结构上。5.根据权利要求4所述的掩模板，其特征在于，所述第二掩模板在所述第二投影区域处、所述支撑条与所述遮挡条连接为一体结构。6.根据权利要求4所述的掩模板，其特征在于，所述支撑条、所述遮挡条与所述板状结构连接为一体结构。7.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一开口部与所述第二子区域的形状均为圆形或椭圆形。8.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一子区域呈矩形形状，所述第二开口部呈矩形形状。9.根据权利要求8所述的掩模板，其特征在于，所述第一子区域的数量与所述第一开口部的数量相同，一个所述第一子区域对应一个所述第一开口部。10.—种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的掩模板。

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