申请/专利权人:盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请日:2018-06-26
公开(公告)日:2020-07-17
公开(公告)号:CN211045391U
主分类号:H01L21/673(20060101)
分类号:H01L21/673(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-未缴年费专利权终止
法律状态:2022.06.03#未缴年费专利权终止;2020.07.17#授权
摘要:本实用新型提供了一种硅片承载装置,包括相对设置的第一侧板和第二侧板,以及连接在所述第一侧板和第二侧板之间的若干齿杆,每一齿杆上设有若干间隔设置以用来安置硅片的卡槽;所述第一侧板或所述第二侧板上形成有密闭的容纳空间,所述容纳空间内安置有射频识别标签,所述射频识别标签用于信息的写入或读取。通过在所述第一侧板或第二侧板上设置所述射频识别标签,可以实现所述硅片承载装置的信息化传递,节省人力,方便快捷。
主权项:1.一种硅片承载装置,包括相对设置的第一侧板和第二侧板,以及连接在所述第一侧板和第二侧板之间的若干齿杆,每一齿杆上设有若干间隔设置以用来安置硅片的卡槽;其特征在于:所述第一侧板或所述第二侧板上形成有密闭的容纳空间,所述容纳空间内安置有射频识别标签,所述射频识别标签用于信息的写入或读取。
全文数据:
权利要求:
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