申请/专利权人：宁夏隆基乐叶科技有限公司

申请日：2019-11-22

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211045404U

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/687(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备，所述吸盘包括：吸盘本体、限位组件和吸嘴，限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴，限位柱固定在支撑杆上，支撑杆固定在旋转轴上，旋转轴可旋转地设置在吸盘本体上，当吸盘靠近承载工装时，限位柱可以限制硅片距承载工装之间的距离，以保证硅片与承载工装之间具有一定的间隙，防止硅片被承载工装划伤，本实用新型实施例提供的吸盘，无论承载工装是否发生变形，限位柱均能起到限位硅片距承载工装距离的作用，在硅片从承载工装中插卸的过程中，均不会对硅片造成划伤，并且限位柱也不会对承载工装造成划伤，提高了承载工装的使用寿命。

主权项：1.一种吸盘，其特征在于，包括：吸盘本体、限位组件和吸嘴；其中，所述吸盘本体包括相对设置的第一表面和第二表面，所述限位组件和所述吸嘴设置在所述第一表面上；所述限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴，所述限位柱固定在所述支撑杆上，所述支撑杆固定在所述旋转轴上，所述旋转轴可旋转地设置在所述吸盘本体上；所述限位柱与所述第一表面具有间隔，所述限位柱远离所述吸盘本体的一侧为第三侧，所述旋转轴远离所述吸盘本体的一侧为第四侧，所述第三侧距所述第一表面的距离，大于所述第四侧距所述第一表面的距离；所述吸嘴上吸附的硅片远离所述吸盘本体的一侧为第五侧，所述第三侧距所述第一表面的距离，大于所述第五侧距所述第一表面的距离。

全文数据：

权利要求：

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