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【实用新型】一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构_潍坊歌尔微电子有限公司_201922492646.7 

申请/专利权人:潍坊歌尔微电子有限公司

申请日:2019-12-31

公开(公告)日:2020-07-17

公开(公告)号:CN211047219U

主分类号:H04R19/00(20060101)

分类号:H04R19/00(20060101);H04R19/04(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.07.17#授权

摘要:本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构,该防尘结构包括网格膜和载体,所述载体呈柱状框架结构,所述载体具有沿自身轴向设置的贯通的开口,所述载体的侧壁具有弧形表面;所述网格膜具有固定连接区和透声区,所述固定连接区环绕在所述透声区周围,所述固定连接区位于所述网格膜的边缘;所述网格膜设置在所述载体的端面上,所述透声区与所述开口的位置对应。将所述载体的侧壁设置成弧形表面,就可以很好地释放由于所述载体与所述MEMS器件厚度尺寸和材料特性的不同带来的变形和应力,避免了应力集中并传递至所述网格膜,对所述网格膜起到了很好地保护作用,提高了所述防尘结构的稳定性和使用寿命。

主权项:1.一种用于MEMS器件的防尘结构,其特征在于,包括:载体,所述载体呈柱状框架结构,所述载体具有沿自身轴向设置的贯通的开口,所述载体的侧壁具有弧形表面;网格膜,所述网格膜具有固定连接区和透声区,所述固定连接区环绕在所述透声区周围,所述固定连接区位于所述网格膜的边缘;所述网格膜设置在所述载体的端面上,所述透声区与所述开口的位置对应。

全文数据:

权利要求:

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