申请/专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211047220U

主分类号：H04R19/04(20060101)

分类号：H04R19/04(20060101);B81B7/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开了一种MEMS器件，包括基板、MEMS芯片层和网格膜，所述基板具有第一表面和第二表面，所述基板上形成有贯通的第一通孔；所述MEMS芯片层设置在所述基板的第二表面的一侧；所述网格膜设置在所述基板的第一表面的一侧，所述网格膜在对应于所述第一通孔的位置处形成有透声区，所述透声区上分布有网孔。本实用新型的MEMS器件的所述基板在完成传统结构封装和信号传递的同时，起到了对所述网格膜很好的支撑作用，而且简化了所述MEMS器件的装配工艺和降低了制造成本。

主权项：1.一种MEMS器件，其特征在于，包括：基板，所述基板具有第一表面和第二表面，所述基板上形成有贯通的第一通孔；MEMS芯片层，所述MEMS芯片层设置在所述基板的第二表面的一侧，所述MEMS芯片层覆盖在所述第一通孔上；网格膜，所述网格膜设置在所述基板的第一表面的一侧，所述网格膜在对应于所述第一通孔的位置处形成有透声区，所述透声区上分布有网孔，所述透声区被配置为供声音穿过，以传至所述MEMS芯片层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 潍坊歌尔微电子有限公司 一种MEMS器件

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