申请/专利权人：昆山晶科微电子材料有限公司

申请日：2019-09-30

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211036110U

主分类号：C23F1/08(20060101)

分类号：C23F1/08(20060101);B01F3/22(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开了铬蚀刻液生产设备，包括混合罐、过滤器和恒温水循环机，混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至过滤器中，管道外部包覆有保温装置；保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成，两块保温套之间活动连接，分水器一的总接头与恒温水循环机的出水口连接，分水器二的总接头与恒温水循环机的进水口连接，保温套中嵌入有连续弯曲的软管，软管的一端与分水器一的分水口连接，另一端与分水器二的分水口连接。本实用新型通过恒温水循环机向保温套中持续注入循环的温水给管道保温，如此便可防止铬蚀刻液在管道中冷却而造成结晶析出，保证了铬蚀刻液产品的质量稳定性。

主权项：1.铬蚀刻液生产设备，其特征在于，包括混合罐、过滤器和恒温水循环机，所述混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至所述过滤器中，所述管道外部包覆有保温装置；所述保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成，两块所述保温套之间活动连接，所述分水器一的总接头与所述恒温水循环机的出水口连接，所述分水器二的总接头与所述恒温水循环机的进水口连接，所述保温套中嵌入有连续弯曲的软管，所述软管的一端与所述分水器一的分水口连接，另一端与所述分水器二的分水口连接。

全文数据：

权利要求：

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