申请/专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211047216U

主分类号：H04R19/00(20060101)

分类号：H04R19/00(20060101);H04R19/04(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，所述用于MEMS器件的防尘结构包括网格膜及载体，所述网格膜具有固定连接区、缓冲区和透声区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘，所述缓冲区上开设有贯穿所述网格膜的通孔；所述载体具有贯通的开口，所述载体连接在所述固定连接区的一侧，所述开口与所述缓冲区和透声区的位置相对应。

主权项：1.一种用于MEMS器件的防尘结构，其特征在于，包括：网格膜，所述网格膜具有固定连接区、缓冲区和透声区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘，所述缓冲区上开设有贯穿所述网格膜的通孔；载体，所述载体具有贯通的开口，所述载体连接在所述固定连接区的一侧，所述开口与所述缓冲区和透声区的位置相对应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 潍坊歌尔微电子有限公司 用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构

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