申请/专利权人：昆山晶科微电子材料有限公司

申请日：2019-09-29

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211035256U

主分类号：C01C1/02(20060101)

分类号：C01C1/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开了高纯氨水制备设备，包括液氨储罐、液氨气化器、冷却水槽、加热水槽、以及连接有混合水注入系统的混合釜，液氨储罐与液氨气化器通过进料管路连接，液氨气化器、以及混合釜的内部均设有双层盘管，加热水槽与液氨气化器内的双层盘管通过进水管路一连接，液氨气化器内的双层盘管与冷却水槽通过出水管路一连接，液氨气化器与混合釜通过进气管路连接，冷却水槽与混合釜内的双层盘管通过进水管路二连接，混合釜内的双层盘管与加热水槽通过出水管路二连接，本实用新型通过在液氨气化器、以及混合釜的内部设置双层盘管，在使注入液氨气化器内的液氨受热均匀的同时，还能对混合釜内散发的热量进行均匀吸收，提高了氨水制备的效果。

主权项：1.高纯氨水制备设备，其特征在于，包括液氨储罐、液氨气化器、冷却水槽、加热水槽、以及连接有混合水注入系统的混合釜，所述液氨储罐与液氨气化器通过进料管路连接，所述液氨气化器、以及混合釜的内部均设有双层盘管，所述双层盘管中一层盘管内的水流方向为从上向下，另一层盘管内的水流方向为从下往上，所述加热水槽与液氨气化器内的双层盘管通过进水管路一连接，所述液氨气化器内的双层盘管与冷却水槽通过出水管路一连接，所述液氨气化器与混合釜通过进气管路连接，所述冷却水槽与混合釜内的双层盘管通过进水管路二连接，所述混合釜内的双层盘管与加热水槽通过出水管路二连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山晶科微电子材料有限公司 高纯氨水制备设备

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