申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2019-01-15

公开（公告）日：2020-07-21

公开（公告）号：CN111434605A

主分类号：B81C1/00(20060101)

分类号：B81C1/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.29#授权;2020.08.14#实质审查的生效;2020.07.21#公开

摘要：本揭露实施例涉及微机电系统装置的控制方法及测试方法。本揭露涉及一种微机电系统装置的控制方法。微机电系统装置包括第一电极及第二电极。控制方法包含以下操作。提供开启信号。开启信号具有上升区段及下降区段。施加上升区段到微机电系统装置，使第一电极移动以与第二电极形成开启状态。施加下降区段到微机电系统装置。第一电极与第二电极维持在开启状态。提供关闭信号。施加关闭信号到微机电系统装置，使第一电极与第二电极由开启状态变为关闭状态。本揭露还提供一种微机电系统装置的测试方法。

主权项：1.一种微机电系统装置的控制方法，所述微机电系统装置包括第一电极及第二电极，所述方法包含：提供开启信号，其中所述开启信号具有上升区段及下降区段；施加所述上升区段到所述微机电系统装置，使所述第一电极移动以与所述第二电极形成开启状态；施加所述下降区段到所述微机电系统装置，所述第一电极与所述第二电极维持在所述开启状态；提供关闭信号；以及施加所述关闭信号到所述微机电系统装置，使所述第一电极与所述第二电极由所述开启状态变为关闭状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 微机电系统装置的控制方法及测试方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD