申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2016-03-31

公开（公告）日：2020-07-21

公开（公告）号：CN106019823B

主分类号：G03F7/00(20060101)

分类号：G03F7/00(20060101)

优先权：["20150331 JP 2015-074494"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.21#授权;2017.05.03#实质审查的生效;2016.10.12#公开

摘要：本发明涉及压印设备、压印方法和制品制造方法。提供了一种通过使用模具和压印材料在基板的多个区域上顺序地形成图案的压印设备。该压印设备包括：移动单元，该移动单元被构造成在承载所述基板的同时沿着水平平面移动；以及调节单元，该调节单元被构造成调节所述模具相对于所述基板的倾角。所述调节单元基于与设置在所述基板上的压印材料的状态有关的信息以及与图案形成顺序有关的信息来调节所述模具相对于所述基板的倾角。与所述基板上的压印材料的状态有关的信息可随着所述移动单元的移动而变化。

主权项：1.一种压印设备，通过在基板的多个投射区域的相应投射区域上使模具的图案与压印材料接触而在所述多个投射区域上形成压印材料的图案，该压印设备包括：台架，该台架构造成使得模具和基板中的至少一个倾斜，以调节模具和基板之间的相对角度，其中，当在基板上沿第一方向顺序地在多个第一投射区域上形成压印材料的图案时，台架使得模具和基板中的所述至少一个倾斜以调节所述相对角度，使得在模具的图案与压印材料接触的同时，在沿第一方向的下游部分上在模具和基板之间的间隙小于在沿第一方向的上游部分上在模具和基板之间的间隙，并且其中，当在基板上沿与第一方向相反的第二方向顺序地在多个第二投射区域上形成压印材料的图案时，台架使得模具和基板中的所述至少一个倾斜以调节所述相对角度，使得在沿第二方向的下游部分上在模具和基板之间的间隙小于在沿第二方向的上游部分上在模具和基板之间的间隙。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 压印设备、压印方法和制品制造方法

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