申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2020-03-02

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111442715A

主分类号：G01B9/02(20060101)

分类号：G01B9/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.07#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将两束频率不同的空间分离光束输入至基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，其中一体式二次分光组件包含两个彼此空间垂直的分光面，这两个分光面镀有偏振分光膜或非偏振分光膜，并且测量光束和参考光束在一体式二次分光组件中的行进路径长度相等。本发明所述的外差激光干涉仪显著降低了周期非线性误差，相对于其他现有空间分离式外差激光干涉仪同时兼具结构简单、热稳定性好、容差角大和易于集成装配的优点，满足了高端装备对外差激光干涉测量高精度和高分辨率的要求。

主权项：1.一种基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，包括：两个空间不重合且频率不同的第一输入光束和第二输入光束、一体式二次分光组件、固定反射镜以及可移动的目标平面反射镜；其特征在于：所述第一输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第一测量光束和第一参考光束；第二输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第二测量光束和第二参考光束；第一测量光束和第二测量光束中至少有一束光束被目标平面反射镜至少反射一次；第一和第二测量光束以及第一和第二参考光束均被一体式二次分光组件的第一分光面和第二分光面多次透射或反射；并且第一测量光束和第二参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一干涉信号，第一参考光束和第二测量光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第二干涉信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪

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