申请/专利权人：思达科技股份有限公司

申请日：2019-12-18

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111443224A

主分类号：G01R1/073(20060101)

分类号：G01R1/073(20060101)

优先权：["20190116 US 62/793,060","20190716 US 16/513,401"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.01.06#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本公开提供一种探测装置及其操作方法。该探测装置包含一载台及一探针卡，该载台经配置以承载一待测元件，该探针卡配置在该载台上。该探针卡具有一入口及一出口，该入口经配置以将一气体传输到该探针卡中，该出口经配置以在一预定温度中将该气体从该探针卡吹到该载台。该操作方法包括：提供一载台、配置一待测元件在该在载台上、配置一探针卡在该待测元件上、以及在一预定温度中将一气体从该探针卡吹向该待测元件。

主权项：1.一种探测装置，包括：一载台，经配置以支撑一待测元件；以及一探针卡，配置在该载台上；其中，该探针卡具有一入口以及一出口，该入口经配置以将一气体传输到该探针卡中，该出口经配置以在一预定温度中将该气体从该探针卡吹向该载台。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 思达科技股份有限公司 探测装置及其操作方法

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