【发明公布】探测装置及其操作方法_思达科技股份有限公司_201911311625.9 

申请/专利权人:思达科技股份有限公司

申请日:2019-12-18

发明/设计人:刘俊良;陈和也

公开(公告)日:2020-07-24

代理机构:隆天知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN111443224A

代理人:黄艳

主分类号:G01R1/073(20060101)

地址:中国台湾新竹市

分类号:G01R1/073(20060101)

优先权:["20190116 US 62/793,060","20190716 US 16/513,401"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.07.24#公开

摘要:本公开提供一种探测装置及其操作方法。该探测装置包含一载台及一探针卡,该载台经配置以承载一待测元件,该探针卡配置在该载台上。该探针卡具有一入口及一出口,该入口经配置以将一气体传输到该探针卡中,该出口经配置以在一预定温度中将该气体从该探针卡吹到该载台。该操作方法包括:提供一载台、配置一待测元件在该在载台上、配置一探针卡在该待测元件上、以及在一预定温度中将一气体从该探针卡吹向该待测元件。

主权项:1.一种探测装置,包括:一载台,经配置以支撑一待测元件;以及一探针卡,配置在该载台上;其中,该探针卡具有一入口以及一出口,该入口经配置以将一气体传输到该探针卡中,该出口经配置以在一预定温度中将该气体从该探针卡吹向该载台。

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