申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2018-12-10

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111448646A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H02N13/00(20060101);B23Q3/15(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101)

优先权：["20171211 US 15/838,314"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.29#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本公开内容的实施方式涉及一种可旋转静电卡盘。在一些实施方式中，可旋转静电卡盘包括介电盘，该介电盘具有至少一个卡紧电极及多个冷却剂通道；低温歧管，该低温歧管耦接到介电盘并具有冷却剂入口及冷却剂出口，该冷却剂入口及该冷却剂出口两者皆流体耦合到多个冷却剂通道；轴组件，该轴组件耦接到该低温歧管；低温供应腔室，该低温供应腔室耦接到轴组件；供应管，该供应管耦接到低温供应腔室及冷却剂入口，以将低温介质供应到多个冷却剂通道，其中供应管延伸穿过轴组件的中心开口；及回流管，该回流管耦接到冷却剂出口及低温供应腔室，其中供应管设置在回流管内。

主权项：1.一种静电卡盘，包括：介电盘，所述介电盘具有支撑表面及相对的第二表面，所述支撑表面用以支撑基板，其中至少一个卡紧电极设置在所述介电盘内的所述支撑表面与所述第二表面之间，且其中多个冷却剂通道设置在所述介电盘内；低温歧管，所述低温歧管耦接到所述介电盘的所述第二表面并具有冷却剂入口及冷却剂出口，所述冷却剂入口及所述冷却剂出口两者皆流体耦合到所述多个冷却剂通道；轴组件，所述轴组件在其第一端处耦接到所述低温歧管，其中所述轴组件包括延伸穿过所述轴组件的中心开口；低温供应腔室，所述低温供应腔室在所述轴组件相对于所述第一端的第二端处耦接到所述轴组件；供应管，所述供应管在其第一端处耦接到所述低温供应腔室以接收低温介质，并且在所述供应管的第二端处耦接到所述冷却剂入口以将所述低温介质供应到所述多个冷却剂通道，其中所述供应管延伸穿过所述中心开口并与所述轴组件同心；及回流管，所述回流管在其第一端处耦接到所述冷却剂出口，并且在所述回流管的第二端处耦接到所述低温供应腔室，以在所述低温介质流过所述多个冷却剂通道之后，使所述低温介质返回到所述低温供应腔室，其中所述回流管延伸穿过所述中心开口并与所述供应管同心，且其中所述供应管设置在所述回流管内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 低温冷却的可旋转静电卡盘

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