申请/专利权人：瓦里安半导体设备公司

申请日：2018-10-24

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111448638A

主分类号：H01J37/08(20060101)

分类号：H01J37/08(20060101);H01J27/18(20060101)

优先权：["20171219 US 15/847,485"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.28#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本发明公开一种用于使离子源的面板的温度变化的系统及方法。所述面板是通过多个紧固件而被抵靠离子源的腔室壁进行固持。这些紧固件可包括拉伸弹簧或压缩弹簧。通过改变拉伸弹簧或压缩弹簧在承受载荷时的长度，可增大弹簧的弹簧力。弹簧力的此种增大会增大面板与腔室壁之间的压缩力，从而形成改善的导热性。在某些实施例中，通过电子长度调整器来调节弹簧的长度。此电子长度调整器与控制器进行通信，所述控制器输出指示弹簧的所需长度的电信号。本发明公开用于调整弹簧的长度的各种机构。

主权项：1.一种离子源，包括：多个腔室壁；面板，使用压缩力被抵靠所述腔室壁而设置；以及一个或多个紧固件，用以将所述面板抵靠所述腔室壁进行固定；其中能够以电子方式使由所述紧固件施加到所述面板的所述压缩力变化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瓦里安半导体设备公司 离子源的动态温度控制

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD