【发明公布】抗蚀剂的剥离液_株式会社杰希优_201880078975.2 

申请/专利权人:株式会社杰希优

申请日:2018-09-12

发明/设计人:谷本树一;文藏隆志;新城沙耶加;都木新介

公开(公告)日:2020-07-24

代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

公开(公告)号:CN111448521A

代理人:任岩

主分类号:G03F7/42(20060101)

地址:日本国东京都

分类号:G03F7/42(20060101);H05K3/18(20060101)

优先权:["20171207 JP 2017-234886"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.07.24#公开

摘要:本发明为用于提供容易除去微细的布线间的抗蚀剂的技术的、以含有钾盐和溶纤剂为特征的抗蚀剂的剥离液、以及以使用上述抗蚀剂的剥离液处理施加有抗蚀剂的基材为特征的抗蚀剂的除去方法。

主权项:1.一种抗蚀剂的剥离液,其特征在于,含有钾盐和溶纤剂。

全文数据:

权利要求:

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