申请/专利权人:株式会社杰希优
申请日:2018-09-12
公开(公告)日:2020-07-24
公开(公告)号:CN111448521A
主分类号:G03F7/42(20060101)
分类号:G03F7/42(20060101);H05K3/18(20060101)
优先权:["20171207 JP 2017-234886"]
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态:2024.01.12#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.11.17#实质审查的生效;2020.07.24#公开
摘要:本发明为用于提供容易除去微细的布线间的抗蚀剂的技术的、以含有钾盐和溶纤剂为特征的抗蚀剂的剥离液、以及以使用上述抗蚀剂的剥离液处理施加有抗蚀剂的基材为特征的抗蚀剂的除去方法。
主权项:1.一种抗蚀剂的剥离液,其特征在于,含有钾盐和溶纤剂。
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