申请/专利权人:宝宇(武汉)激光技术有限公司
申请日:2020-05-19
公开(公告)日:2020-07-24
公开(公告)号:CN111442716A
主分类号:G01B9/02(20060101)
分类号:G01B9/02(20060101);G01H9/00(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.04.16#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开
摘要:本发明公开了一种引进参考光的干涉测量装置及方法,包含一个信号光DFB激光器及一个参考光DFB激光器,两DFB激光器分别与2x2光纤耦合器相连,2x2光纤耦合器分别与相位调制器和光纤环形器相连,相位调制器还分别与DA转换电路及3x3光纤耦合器相连,光纤环形器还分别与FP标准具及3x3光纤耦合器相连,FP标准具还与探测反射镜相连,3x3光纤耦合器还对应与两个波分复用器相连,其中一个波分复用器与两个光电探测器相连,另一个波分复用器与一个光电探测器相连;三个光电探测器均通过AD转换电路与微处理器相连,微处理器通过DA转换电路与相位调制器相连。本发明优点有:实现了对环境干扰的抑制,保证了探测结果的准确性,避免了高压电路的采用,提高了工作安全性。
主权项:1.一种引进参考光的干涉测量装置,其特征在于:包含DFB激光器A1、DFB激光器B2、2x2光纤耦合器3、相位调制器4、光纤环形器5、FP标准具6、探测反射镜7、3x3光纤耦合器8、波分复用器A9、波分复用器B10、光电探测器A11、光电探测器B12、光电探测器C13、AD转换电路14、微处理器15及DA转换电路16;所述DFB激光器A1及DFB激光器B2分别与2x2光纤耦合器3的两个输入臂相连;所述2x2光纤耦合器3的两个输出臂分别与相位调制器4的输入端及光纤环形器5的端口A相连;所述光纤环形器5的端口B与FP标准具6的输入端相连;所述FP标准具6的输出端与探测反射镜7相连;所述光纤环形器5的端口C及相位调制器4的输出端分别与3x3光纤耦合器8中的两个输入臂相连;所述3x3光纤耦合器8中的两个输出臂分别与波分复用器A9的一输入臂及波分复用器B10的一输入臂相连;所述波分复用器A9的参考光输出臂与光电探测器A11相连,信号光输出臂与光电探测器B12相连;所述波分复用器B10的参考光输出臂悬空,信号光输出臂与光电探测器C13相连,所述光电探测器A11、光电探测器B12及光电探测器C13均与所述AD转换电路14电连接,所述AD转换电路14与所述微处理器15电连接,所述述微处理器15通过DA转换电路16与所述相位调制器4电连接;其中,DFB激光器A1用于输出信号光,DFB激光器B2用于输出参考光。
全文数据:
权利要求:
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