申请/专利权人：上海大学

申请日：2020-05-22

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111443041A

主分类号：G01N21/01(20060101)

分类号：G01N21/01(20060101);G01N21/95(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.18#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本发明公开了一种剪切散斑干涉系统，所述剪切散斑干涉系统包括：短焦距镜头、迈克尔逊干涉装置、长焦距镜头和CCD相机。通过利用短焦距镜头和长焦距镜头的组合和迈克尔逊干涉装置相结合，利用短焦距镜头将大视场范围的物体成像为缩小的实像，缩小的实像通过迈克尔逊干涉装置和长焦距镜头传递到CCD相机靶面，形成散斑干涉，从而实现大视场剪切散斑干涉测量。本发明提供了一种不影响相位计算且结构简单的大视角剪切散斑干涉系统，有效地扩大检测面积，实现了全场、快速的缺陷检测。

主权项：1.一种剪切散斑干涉系统，其特征在于，所述剪切散斑干涉系统包括：短焦距镜头、迈克尔逊干涉装置、长焦距镜头和CCD相机；所述短焦距镜头设置在所述迈克尔逊干涉装置的光入射的方向上；所述长焦距镜头和所述CCD相机依次设置在所述迈克尔逊干涉装置的光出射的方向上；所述短焦距镜头与所述迈克尔逊干涉装置的光入射口同轴，设为第一中心轴；所述长焦距镜头、所述CCD相机和所述迈克尔逊干涉装置的光出射口同轴，设为第二中心轴，所述第一中心轴与所述第二中心轴垂直；被测物体的漫反射光经过所述短焦距镜头在短焦距镜头的成像平面上形成所述被测物体的缩小实像；所述缩小实像经过所述迈克尔逊干涉装置，形成两束相干光，再经过所述长焦距镜头投射在所述CCD相机的成像靶面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大学 一种剪切散斑干涉系统

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