申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2019-08-15

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN110943005B

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);G03F7/16(20060101)

优先权：["20180921 JP 2018-177556"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.24#授权;2020.05.12#实质审查的生效;2020.03.31#公开

摘要：本发明提供一种通过第二处理部对通过第一处理部实施了第一处理的基板实施包括加热处理的第二处理的基板处理装置以及基板处理方法，能够抑制加热处理时间的偏差，从而能够制造高品质的基板。第一交接部和第二交接部在相互不同的位置进行基板的交接，搬运机构在节拍时间的整数倍的接收时刻从第一交接部和第二交接部中的一个交接部接收基板后，将该基板搬运至加热板单元，搬运部当在与接收时刻不同的交付时刻向一个交接部交付基板的期间，在第一处理部中执行维护动作而交付时刻变动时，将基板的交付目的地从一个交接部切换为另一个交接部。

主权项：1.一种基板处理装置，通过第二处理部对通过第一处理部实施了第一处理的基板实施第二处理，所述基板处理装置的特征在于，包括：第一交接部，进行从所述第一处理部向所述第二处理部的所述基板的交接；第二交接部，在与所述第一交接部不同的位置，进行从所述第一处理部向所述第二处理部的所述基板的交接；以及搬运部，将所述基板从所述第一处理部选择性地搬运并交付至所述第一交接部或所述第二交接部，所述第二处理部包括：加热所述基板的加热板单元、冷却由所述加热板单元加热后的所述基板的冷却板单元、以及以所述加热板单元和所述冷却板单元的顺序搬运所述基板的搬运机构，所述第二处理部以规定的节拍时间执行作为所述第二处理的加热处理和冷却处理，所述搬运机构在所述节拍时间的整数倍的接收时刻从所述第一交接部和所述第二交接部中的一个交接部接收所述基板后，将所述基板搬运至所述加热板单元，所述搬运部当在与所述接收时刻不同的交付时刻向所述一个交接部交付所述基板的期间，在所述第一处理部中执行维护动作而所述交付时刻变动时，将所述基板的交付目的地从所述一个交接部切换为另一个交接部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板处理方法

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