申请/专利权人：株式会社荏原制作所

申请日：2015-06-05

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN105280525B

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/306(20060101)

优先权：["20140609 JP 2014-118556","20140626 JP 2014-131045","20150312 JP 2015-049038"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.24#授权;2017.06.06#实质审查的生效;2016.01.27#公开

摘要：本发明提供一种能够与稀释比例的变更灵活地相对应，且能够抑制装置尺寸大型化的清洗药液供给装置、清洗药液的供给方法及清洗单元，清洗药液供给装置具有：第1直列式混合器，将第1清洗药液供给到清洗装置；第2直列式混合器，将第2清洗药液供给到基板清洗装置；第1药液CLC箱，对供给到第1直列式混合器的第1药液的流量进行控制；第2药液CLC箱，对供给到第2直列式混合器的第2药液的流量进行控制；以及DIWCLC箱，对供给到第1直列式混合器或第2直列式混合器的稀释水的流量进行控制，且清洗药液供给装置构成为：将稀释水的供给目的地从第1直列式混合器切换到第2直列式混合器，或从第2直列式混合器切换到第1直列式混合器。

主权项：1.一种清洗药液供给装置，用于将清洗药液供给到基板清洗装置，该清洗药液供给装置的特征在于，具有：稀释水供给源；稀释水供给配管，该稀释水供给配管构成为与所述稀释水供给源和所述基板清洗装置流体连接，该稀释水供给配管包含稀释水供给阀和稀释水压力控制调节器；稀释水分歧配管，该稀释水分歧配管与所述稀释水供给阀和所述稀释水压力控制调节器之间的所述稀释水供给配管连接；稀释水供给切换部，该稀释水供给切换部构成为与所述稀释水分歧配管、第1稀释水配管、第2稀释水配管流体连接；第1药液供给源；第1药液供给配管，该第1药液供给配管与所述第1药液供给源流体连通；第1药液控制部，该第1药液控制部与所述第1药液供给配管和第1药液配管流体连通；第2药液供给源；第2药液供给配管，该第2药液供给配管与所述第2药液供给源流体连通；第2药液控制部，该第2药液控制部与所述第2药液供给配管和第2药液配管流体连通；第1混合部，该第1混合部与所述第1药液配管、所述第1稀释水配管以及第1清洗药液配管分别流体连接，所述第1清洗药液配管与所述基板清洗装置流体连通；以及第2混合部，该第2混合部与所述第2药液配管、所述第2稀释水配管以及第2清洗药液配管分别流体连接，所述第2清洗药液配管与所述基板清洗装置流体连通，所述稀释水供给切换部包括DIWCLC、所述第1稀释水配管的第1供给阀、所述第2稀释水配管的第2供给阀，所述DIWCLC包含稀释水内部控制阀，所述DIWCLC对在所述DIWCLC中流动的稀释水的流量进行测定，并基于其测定结果来控制所述稀释水内部控制阀，所述第1药液控制部至少包括第1CLC，所述第1CLC包含第1内部控制阀，所述第1CLC对在所述第1CLC中流动的第1药液的流量进行测定，并基于其测定结果来控制所述第1内部控制阀，所述第2药液控制部至少包括第2CLC，所述第2CLC包含第2内部控制阀，所述第2CLC对在所述第2CLC中流动的第2药液的流量进行测定，并基于其测定结果来控制所述第2内部控制阀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社荏原制作所 清洗药液供给装置、清洗药液供给方法及清洗单元

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