申请/专利权人：苏州大学

申请日：2020-02-14

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN211087931U

主分类号：G12B5/00(20060101)

分类号：G12B5/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.24#授权

摘要：本实用新型涉及的三自由度微纳定位平台，第一运动平台的运动组件由第一运动平台的压电陶瓷驱动其沿X轴方向移动，第二运动平台设置在第一运动平台的运动组件上且随第一运动平台的运动组件沿X轴方向移动，第二运动平台的运动组件由第二运动平台的压电陶瓷驱动其沿Y方向移动，第三运动平台设置在第二运动平台的运动组件上且随第二运动组件沿Y轴方向移动，第三运动平台的运动组件由第三运动平台的压电陶瓷驱动沿Z轴方向移动。运动平台结构简单、制作工艺简单、制造成本较低且可实现厘米级行程和微米级定位精度，得到的三自由度微纳定位平台整体结构尺寸紧凑、便于加工和装配、并且平台运动精度高、定位精度高、行程范围大、运动稳定性好。

主权项：1.一种三自由度微纳定位平台，包括基座，其特征在于，所述三自由度微纳定位平台还包括装配于所述基座上的第一运动平台、设置在所述第一运动平台上的第二运动平台、以及设置在所述第二运动平台上的第三运动平台，所述第一运动平台、所述第二运动平台、以及所述第三运动平台均为惯性粘滑式跨尺度运动平台，所述惯性粘滑式跨尺度运动平台包括保护座、以及位于所述保护座内的运动机构，所述运动机构包括压电陶瓷、以及位于所述压电陶瓷两侧且由所述压电陶瓷驱动的运动组件和惯性组件，所述第一运动平台的运动组件由所述第一运动平台的压电陶瓷驱动其沿X轴方向移动，所述第二运动平台设置在所述第一运动平台的运动组件上且随所述第一运动平台的运动组件沿X轴方向移动，所述第二运动平台的运动组件由所述第二运动平台的压电陶瓷驱动其沿Y方向移动，所述第三运动平台设置在所述第二运动平台的运动组件上且随所述第二运动组件沿Y轴方向移动，所述第三运动平台的运动组件由所述第三运动平台的压电陶瓷驱动沿Z轴方向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州大学 一种三自由度微纳定位平台

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