买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【实用新型】一种研磨液供给系统_西安奕斯伟硅片技术有限公司_201921910666.5 

申请/专利权人:西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请日:2019-11-07

公开(公告)日:2020-07-24

公开(公告)号:CN211073205U

主分类号:B24B57/02(20060101)

分类号:B24B57/02(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.07.24#授权

摘要:本实用新型提供一种研磨液供给系统,包括:主管路,所述主管路的第一端连接研磨液供给端,所述主管路的第二端连接研磨液输出端;设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀;气体供给管路,所述气体供给管路的第一端与供气端连接,所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接,用于向所述气动阀提供压缩空气;设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀;液体泄漏检测装置,设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接,用于检测所述气动阀是否发生泄漏。根据本实用新型实施例的研磨液供给系统,可以自动检测气动阀是否发生泄漏,避免研磨液损坏电磁阀、污染气体供给管路。

主权项:1.一种研磨液供给系统,其特征在于,包括:主管路,所述主管路的第一端连接研磨液供给端,所述主管路的第二端连接研磨液输出端;设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀;气体供给管路,所述气体供给管路的第一端与供气端连接,所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接,用于向所述气动阀提供压缩空气;设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀;液体泄漏检测装置,所述液体泄漏检测装置设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接,用于检测所述气动阀是否发生泄漏。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种研磨液供给系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。