申请/专利权人：芯米(厦门)半导体设备有限公司

申请日：2020-04-07

公开（公告）日：2020-07-28

公开（公告）号：CN111451022A

主分类号：B05B9/04(20060101)

分类号：B05B9/04(20060101);B05B15/00(20180101);B05B15/40(20180101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.08.21#实质审查的生效;2020.07.28#公开

摘要：一种节约光阻液的光阻液喷涂系统，包括：储液罐，用于储存和供应光阻液；第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间；光阻液泵，用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端；所述缓冲器连接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述回抽管安装有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端。所述光阻液喷涂系统能够节约光阻液，节省成本。

主权项：1.一种节约光阻液的光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：储液罐，用于储存和供应光阻液；第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；所述第一过滤器设置于所述储液罐与所述缓冲器之间；光阻液泵，用于将所述缓冲器内的光阻液输送至使用端；所述缓冲器连接有回抽管，所述回抽管第一端伸入所述缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述回抽管安装有回抽泵；所述回抽管和所述回抽泵用于将所述缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯米(厦门)半导体设备有限公司 节约光阻液的光阻液喷涂系统

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