申请/专利权人:TCL华星光电技术有限公司
申请日:2020-04-09
公开(公告)日:2020-07-28
公开(公告)号:CN111451110A
主分类号:B05D3/04(20060101)
分类号:B05D3/04(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.05.03#授权;2020.08.21#实质审查的生效;2020.07.28#公开
摘要:本申请公开了一种烘烤设备及其操作方法,所述烘烤设备包括加热板、夹持装置以及移载装置,所述夹持装置设置于所述加热板上方,以将基板固定于所述加热板上方,所述加热板上设置有相交错的多个吹气孔和多个支撑孔,所述多个吹气孔用于向所述基板吹气,形成气浮,所述移载装置穿过所述多个支撑孔以支撑所述基板,相比于现有技术,本申请通过将基板与加热板分离,提高了基板的受热均匀性,保证了成膜的膜厚均一性,形成气浮以提高基板的平坦度,并设置可灵活取放基板的移载装置以提高烘烤操作的效率。
主权项:1.一种烘烤设备,其特征在于,包括:加热板,用于对所述加热板上方的基板进行加热,且所述加热板中设置有相互交错的多个吹气孔和多个支撑孔;夹持装置,包括一对或多对设置于所述加热板上方相对两侧的夹具,所述夹持装置用于将所述基板固定于所述加热板上方;移载装置,设置于所述加热板下方,且所述移载装置包括升降台以及凸出于所述升降台上表面并与所述多个支撑孔相对应的多个支撑件。
全文数据:
权利要求:
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