申请/专利权人:沈阳拓荆科技有限公司
申请日:2020-04-07
公开(公告)日:2020-07-28
公开(公告)号:CN111455350A
主分类号:C23C16/455(20060101)
分类号:C23C16/455(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2020.08.21#实质审查的生效;2020.07.28#公开
摘要:本发明公开了一种射频从喷淋板导入的喷淋板装置,包括:设置于真空腔室内的喷淋板本体和密闭设置于喷淋板本体上方的加热腔室,其中,所述加热腔室内的顶部和侧壁均设置有反射器,加热腔室的底部为透光板,加热腔室内由上至下依次设置有热辐射器和接地屏蔽网,所述热辐射器固定设置于加热腔室内,所述接地屏蔽网设置于透光板的上部,透光且可屏蔽射频,以防止喷淋板本体与热辐射器之间形成电场,所述反射器用于向喷淋板本体反射热量,以最大限度给喷淋板本体加热。该射频从喷淋板导入的喷淋板装置结构合理、可保证对喷淋板加热的均匀性,可提高热量的有效利用率。
主权项:1.射频从喷淋板导入的喷淋板装置,其特征在于,包括:设置于真空腔室内的喷淋板本体1和密闭设置于喷淋板本体1上方的加热腔室,其中,所述加热腔室内的顶部和侧壁均设置有反射器21,加热腔室的底部为透光板22,加热腔室内由上至下依次设置有热辐射器23和接地屏蔽网24,所述热辐射器23固定设置于加热腔室内,可向周围辐射热量,所述接地屏蔽网24设置于透光板22的上部,透光且可屏蔽射频,以防止喷淋板本体1与热辐射器23之间形成电场,所述反射器21用于向喷淋板本体1反射热量,以最大限度给喷淋板本体1加热。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 沈阳拓荆科技有限公司 射频从喷淋板导入的喷淋板装置
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