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【发明授权】用于芯片硅生产工序中的清洗机及其使用方法_大同新成新材料股份有限公司_201910910319.0 

申请/专利权人:大同新成新材料股份有限公司

申请日:2019-09-25

公开(公告)日:2020-07-28

公开(公告)号:CN110575989B

主分类号:B08B3/02(20060101)

分类号:B08B3/02(20060101);B08B13/00(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.07.28#授权;2020.01.10#实质审查的生效;2019.12.17#公开

摘要:本发明公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机,包括用于放置芯片硅的清洗板、固定所述清洗板的支撑架以及用于向清洗板上、下两侧喷洒清洗液的清洗机构,所述清洗板为矩形板状,且清洗板上设有两排与芯片硅形状相同的放置孔,清洗板的长度方向两侧均开设有安装孔,每个安装孔内均对称设置两个双向电动推杆,清洗板的相对两侧均平行设置两根边杆,每根边杆靠近清洗板的一侧均固定若干块挡板,每块挡板的末端均活动伸入相邻一排的放置孔内,位于上方的双向电动推杆的两个伸缩端分别与上方的两块挡板连接。本发明还公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机的使用方法。本发明人工放置好芯片硅后,自动清洗芯片硅两侧,效果好,清洗液回收循环利用。

主权项:1.用于芯片硅生产工序中的清洗机,包括用于放置芯片硅的清洗板(19)、固定所述清洗板(19)的支撑架以及用于向清洗板(19)上、下两侧喷洒清洗液的清洗机构,其特征在于:所述清洗板(19)为矩形板状,且清洗板(19)上设有两排与芯片硅形状相同的放置孔(18);所述清洗板(19)的长度方向两侧均开设有安装孔(21),每个所述安装孔(21)内均对称设置两个双向电动推杆(22),清洗板(19)的相对两侧均平行设置两根边杆(20),每根边杆(20)靠近清洗板(19)的一侧均固定若干块挡板(24),每块所述挡板(24)的末端均活动伸入相邻一排的放置孔(18)内,位于上方的双向电动推杆(22)的两个伸缩端分别与上方的两块挡板(24)连接,位于下方的双向电动推杆(22)的两个伸缩端分别与下方的两块挡板(24)连接;所述支撑架包括底板(1)、支杆(2)、底盒(10)、支架(11)以及侧板(17),所述底板(1)位于清洗板(19)的下方,所述底盒(10)设在底板(1)与清洗板(19)之间,底盒(10)的底面固定若干根连接于底板(1)的支杆(2),底盒(10)的顶端敞口,底盒(10)内底面两侧均固定支架(11),所述清洗板(19)连接于两个支架(11)之间,每个支架(11)的顶端均向上延伸有所述侧板(17);所述清洗机构包括储液箱(3)、水泵(4)、回收管(5)以及喷头(25),所述储液箱(3)设于底板(1)上,所述水泵(4)固定在储液箱(3)外壁上,水泵(4)的进液端与储液箱(3)连通,所述回收管(5)的一端与底盒(10)内部连通,回收管(5)的另一端连通于储液箱(3),所述水泵(4)设有两个出液端口,其中一个出液端口连接第一送水管(9),所述底盒(10)内底面安装若干向上喷液的喷头(25),第一送水管(9)与每个喷头(25)之间通过第一输液机构连通;所述水泵(4)的另一个出液端口连接有第二送水管(12),两块所述侧板(17)之间平行设置两根横管(15),每根横管(15)上均连通有若干个分流管(16),所述分流管(16)与放置孔(18)一一对应,且第二送水管(12)与横管(15)通过第二输液机构连通。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 大同新成新材料股份有限公司 用于芯片硅生产工序中的清洗机及其使用方法

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