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【发明授权】丝网印刷装置以及丝网印刷方法_松下知识产权经营株式会社_201710268830.6 

申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

申请日:2017-04-21

公开(公告)日:2020-07-28

公开(公告)号:CN107310249B

主分类号:B41F15/12(20060101)

分类号:B41F15/12(20060101);B41F15/36(20060101);H05K13/04(20060101)

优先权:["20160427 JP 2016-089330","20160427 JP 2016-089331"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.07.28#授权;2019.04.09#实质审查的生效;2017.11.03#公开

摘要:本发明的目的在于,提供一种丝网印刷装置以及丝网印刷方法,即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下,也难以产生印刷不合格。在向一个基板或者排列的多个基板2即印刷对象物3的被印刷图案印刷料浆的丝网印刷装置中,具备设有尺寸不同的多个开口图案的掩模。对构成印刷对象物的一个基板或者排列的多个基板2中的一个基板进行拍摄,基于该拍摄结果而计算印刷对象物的伸缩变形的程度。然后,基于该计算出的印刷对象物3的伸缩变形的程度,从多个开口图案之中选择一个开口图案,使印刷对象物与掩模接触,以使该选择出的开口图案与被印刷图案重合,从而使料浆堆积于被印刷图案。

主权项:1.一种丝网印刷装置,该丝网印刷装置向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆,所述丝网印刷装置具备:掩模,其设有尺寸不同的多个开口图案;搬运部,其向所述掩模的下方搬运所述印刷对象物;拍摄部,其对构成所述印刷对象物的所述一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄;以及变形度计算部,其基于所述拍摄部的拍摄结果而计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度,其特征在于,所述丝网印刷装置进一步具备:选择部,其基于由所述变形度计算部计算出的所述印刷对象物的伸缩变形的程度而从所述多个开口图案之中选择一个开口图案;以及接触机构,其使由所述搬运部搬运至所述掩模的下方的所述印刷对象物与所述掩模接触,利用所述接触机构使所述掩模与所述基板相对移动,以使由所述选择部选择出的所述开口图案与所述被印刷图案重合。

全文数据:丝网印刷装置以及丝网印刷方法技术领域[0001]本发明涉及丝网印刷装置以及丝网印刷方法。背景技术[0002]作为对一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物具有的被印刷图案各个基板具有的电极图案的组合印刷焊锡等料浆的装置,以往大多使用丝网印刷装置。在利用丝网印刷装置对印刷对象物的被印刷图案印刷料浆的情况下,预先制作具有与被印刷图案对应的开口图案的掩模。然后,使搬运来的印刷对象物与掩模的下表面接触,并向开口图案压入料浆,在此基础上,使印刷对象物与掩模分离分版)。由此与开口图案对应地在被印刷图案上堆积料浆。[0003]在上述那样的丝网印刷装置中,印刷对象物和掩模需要使被印刷图案与开口图案以上下重合的方式高精度地接触。因此,预先在掩模设置标记掩模侧标记),并且在构成印刷对象物的基板也设置标记基板侧标记),在使掩模侧标记与基板侧标记进行了对位的基础上,使印刷对象物与掩模接触。在此,在基板为膜状基板等而在印刷对象物产生面内的伸缩变形的情况下,被印刷图案与开口图案不完全重合,但被印刷图案和开口图案整体平均的含义)以允许两者的偏差的允许范围内的精度而重合。在下述的专利文献1中公开有如下技术:通过分别拍摄在基板设置的三个以上的标记,能够高精度地识别被印刷图案与开口图案之间的偏差。[0004]在先技术文献[0005]专利文献[0006]专利文献1:日本特开2006-86515号公报[0007]然而,在上述现有的丝网印刷装置中,在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下,即便高精度地识别出被印刷图案与开口图案之间的偏差,也无法使被印刷图案和开口图案以允许范围内的精度重合。因此,存在有时产生料浆相对于印刷对象物的印刷不合格这样的问题点。发明内容[0008]对此,本发明的目的在于,提供一种丝网印刷装置以及丝网印刷方法,即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下,也难以产生印刷不合格。[0009]本发明的丝网印刷装置向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆,其特征在于,丝网印刷装置具备:掩模、搬运部、拍摄部、变形度计算部;选择部、以及接触机构。在掩模上设有尺寸不同的多个开口图案。搬运部向掩模的下方搬运印刷对象物。拍摄部对构成印刷对象物的一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄。变形度计算部基于拍摄部的拍摄结果而计算印刷对象物的伸缩变形的程度。选择部基于由变形度计算部计算出的印刷对象物的伸缩变形的程度而从多个开匕图案之中选择一个开口图案。接触机构使由搬运部搬运至掩模的下方的印刷对象物与掩検接触。而且,利用接触机构使掩模与基板相对移动,以使由选择部选择出的开口图案与被印刷图案重合。[0010]本发明的丝网印刷方法向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆,其特征在于,丝网印刷方法包括:搬运工序、拍摄工序、变形度计算工序、选择工序、以及接触工序。在搬运工序中,向设有尺寸不同的多个开口图案的掩模的下方搬运印刷对象物。在拍摄工序中,对构成印刷对象物的一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄。在变形度计算工序中,基于拍摄工序中的拍摄结果而计算印刷对象物的伸缩变形的程度。在选择工序中,基于在变形度计算工序中计算出的印刷对象物的伸缩变形的程度而从多个开口图案之中选择一个开口图案。在接触工序中,使在搬运工序中搬运至掩模的下方的印刷对象物与掩模接触。而且,在接触工序中使掩模与基板相对移动,以使在选择工序中选择出的开口图案与被印刷图案重合。[0011]发明效果[0012]根据本发明,即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下,也难以产生印刷不合格。附图说明[0013]图1是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的俯视图。[00M]图2是在本发明的一实施方式的丝网印刷装置中投入的作业对象的俯视图。[0015]图3A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的俯视图。[0016]图3B是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的主视图。[0017]图4是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的侧视图。[0018]图5是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置所具备的掩模的俯视图。[0019]图eA是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的一部分的侧视图[0020]图册是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的一部分的侧视图[0021]图ec是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的一部分的侧视图_2]图7是示出本发明的-实施方式中的丝网印刷装置的控制系统的麵。[0023]图8A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说明图[0024]图8B是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说。[0025]图9A是本发明的一实施方式中的丝网印刷装置的动作说。[0咖_是本发明的—实施方式中的丝网印刷装置图。[0027]附图标记说明:厕。[0028]1丝网印刷装置;[0029]2基板;[0030]3印刷对象物;[0031]3P被印刷图案;[0032]16掩模;[0033]18拍摄部;[0034]22移动机构部接触机构);[0035]31搬运部;[0036]40开口图案;[0037]80a变形度计算部;[0038]80b选择部;[0039]Pst料浆。具体实施方式[0040]以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1示出本发明的一实施方式中的丝网印刷装置1。丝网印刷装置1是向一个基板或者排列的多个基板2即印刷对象物3的被印刷图案3P图2丝网印刷焊锡等料浆的装置。在此,“排列的多个基板2”是指,多个基板2由一张基底基板制作并在丝网印刷的阶段相互连结的基板、独立制作出的多个基板2排列安装于载体上的预先确定的位置的基板等。在本实施方式中,如图2所示,将排列安装于载体4的两个基板2称为印刷对象物3、将包括两个基板2和载体4在内的整体称为作业对象5而进行说明。另外,“印刷对象物3的被印刷图案3P”是指,构成印刷对象物3的各个基板2具有的电极图案2P的组合图2。另外,基板2为膜状基板。[0041]在图1、图3A、图3B以及图4中,丝网印刷装置1在基台11具备搬入部12、对象保持移动机构13以及搬出部14。在从作业者0P观察到的基台11的左右方向(设为X轴方向)的两端部设有沿从作业者0P观察到的前后方向(设为Y轴方向)延伸的一对梁构件15。在这一对梁构件15之间,掩模16以水平姿态设置。在一对梁构件15上设有在掩模16的上方进行移动的刮刀单元17和在掩模16的下方进行移动的拍摄部18。[0042]搬入部12、对象保持移动机构13以及搬出部14从作业者0P观察到的左方依次并排设置。搬入部12由一对输送机构成,并搬入从外部供给来的作业对象5即印刷对象物3。对象保持移动机构13从搬入部12接受作业对象5并保持该作业对象5,在对印刷对象物3的丝网印刷结束之后,将作业对象5交接于搬出部14。搬出部14由一对输送机构成,并将从对象保持移动机构13接受的作业对象5向外部搬出。[0043]在图4中,对象保持移动机构13包括对象保持部21、和使对象保持部沿水平面内方向以及上下方向移动的移动机构部22。对象保持部21具备搬运部31、下承接构件32、以及一对夹持器33也参照图3A以及图3B。[0044]搬运部31由一对输送机构成,且将从搬入部12接受的作业对象5沿X轴方向搬运并将该作业对象5定位于掩模16的下方的规定的夹持位置。下承接构件32对由搬运部31定位于夹持位置的作业对象5的下表面进行支承。一对夹持器33从Y轴方向夹持并保持下承接构件32所支承的作业对象5。在本实施方式中,将一对夹持器33中的、位于作业者〇P的一侧前方的夹持器33称作前方夹持器33F,将位于与作业者0P相反的一侧后方的夹持器33称作后方夹持器33R图3A以及图4。[0045]在图5中,掩模16具有沿XY平面扩展延伸的矩形平板形状。掩模I6的外周被框构件16w支承。在掩模16设有与被印刷图案3P对应的三个三种开口图案40。三个开口图案40彼此相似且尺寸不同,在Y轴方向上并排设置。[0046]在图5中,三个开口图案40包括中央开口图案41、前方开口图案42以及后方开口图案43。中央开口图案41形成于掩模16的Y轴方向的中央部。前方开口图案42形成于掩模16的前方,后方开口图案43形成于掩模16的后方。[0047]中央开口图案41设为,与在印刷对象物3不产生面内的伸缩变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸。前方开口图案42设为,与在印刷对象物3产生面内的伸长变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸。后方开口图案43设为,与在印刷对象物3产生面内的缩小变形的情况下的印刷图案3P对应的尺寸。当将中央开口图案41尺寸的扩大比率将附图标记设为H设为H=1时,前方开口图案42的扩大比率H为H1,后方开口图案43的扩大比率H为H1。另外,在各基板2缩小而实测值M低于设计值L的情况下,变形度P为P〇的开口图案、一个设置为与在印刷对象物3产生面内的缩小变形的情况下的被印刷图案3P对应的尺寸的(扩大比率为H〇开口图案,但这只不过是一例,多个开口图案4〇可以是各种尺寸的组合。[0086]另外,在上述的实施方式中,在使印刷对象物3与掩模16接触的接触机构或者接触工序中,使印刷对象物3相对于掩模16移动而使印刷对象物3与掩模I6接触,但也可以使掩模16相对于印刷对象物3移动而使印刷对象物3与掩模16接触。即,在上述的实施方式中,以使印刷对象物3位于所选择的开口图案40的下方的方式,使移动机构部22移动对象保持部21,但也可以还具备使掩模16沿水平方向移动的掩模移动机构部,以使印刷对象物3位于所选择的开口图案4〇的下方的方式使掩模16移动。另外,在作业者0P预先根据变形度而选出印刷对象物3的情况下,也可以向输入输出装置81输入变形度或者选择的开口图案40而省略上述的拍摄工序。[0087]另外,在上述的实施方式中,对与构成印刷对象物3的两个基板2中的、预先确定的一个基板2对应的基板侧标记2m进行拍摄而选择了开口图案40,但在由多个基板2构成的情况下,也可以拍摄基板2各自的基板侧标记2m而选择开口图案40。在该情况下,印刷对象物3的伸缩变形的程度通过计算各个基板2的基板变形度P〇=ML而得出。然后,通过求出多个基板变形度PO的平均值,将所得出的值设为印刷对象物3的变形度P,由此能够与上述实施方式同样地选择开口图案40。[0088]工业实用性[0089]本发明提供一种丝网印刷装置以及丝网印刷方法,即便在印刷对象物的伸缩变形的程度较大的情况下,也难以产生印刷不合格。

权利要求:1.一种丝网印刷装置,该丝网印刷装置向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆,其特征在于,所述丝网印刷装置具备:掩模,其设有尺寸不同的多个开口图案;搬运部,其向所述掩模的下方搬运所述印刷对象物;拍摄部,其对构成所述印刷对象物的所述一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄;变形度计算部,其基于所述拍摄部的拍摄结果而计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度;选择部,其基于由所述变形度计算部计算出的所述印刷对象物的伸缩变形的程度而从所述多个开口图案之中选择一个开口图案;以及接触机构,其使由所述搬运部搬运至所述掩模的下方的所述印刷对象物与所述掩模接触,利用所述接触机构使所述掩模与所述基板相对移动,以使由所述选择部选择出的所述开口图案与所述被印刷图案重合。2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置,其特征在于,_所述拍摄部对所述一个基板或者所述多个基板中的一个基板具有的一对基板侧标记进行拍摄,所述变形度计算部基于通过所述拍摄部的所述拍摄而得到的所述一对基板侧标记的距离来计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度。3.根据权利要求1所述的丝网印刷装置,其特征在于,所述基板为膜状基板。4.根据权利要求1所述的丝网印刷装置,其特征在于,所述尺寸不同的多个开口图案彼此相似。5.—种丝网印刷方法,该丝网印刷方法向一个基板或者排列的多个基板即印刷对象物的被印刷图案印刷料浆,其特征在于,所述丝网印刷方法包括:_搬运工序,在该搬运工序中,向设有尺寸不同的多个开口图案的掩模的下方搬运所述印刷对象物;拍摄工序,在该拍摄工序中,对构成所述印刷对象物的所述一个基板或者排列的多个基板中的一个基板进行拍摄;变形度计算工序,在该变形度计算工序中,基于所述拍摄工序中的拍摄结果而计算所述印刷对象物的伸缩变形的程度;选择工序,在该选择工序中,基于在所述变形度计算工序中计算出的所述印刷对象物的伸缩变形的程度而从所述多个开口图案之中选择一个开口图案;以及接触工序,在该接触工序中,使在所述搬运工序中搬运至所述掩模的下方的所述印刷对象物与所述掩模接触,在所述接触工序中使所述掩模与所述基板相对移动,以使在所述选择工序中选择出的所述开口图案与所述被印刷图案重合。

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