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【实用新型】运动控制系统_苏州大学;华东理工大学_201921983169.8 

申请/专利权人:苏州大学;华东理工大学

申请日:2019-11-15

公开(公告)日:2020-07-28

公开(公告)号:CN211123568U

主分类号:G02F1/1337(20060101)

分类号:G02F1/1337(20060101);G03F7/20(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-未缴年费专利权终止

法律状态:2022.11.01#未缴年费专利权终止;2020.07.28#授权

摘要:本实用新型公开了一种运动控制系统,包括工作台、运动控制器、电机和电机驱动装置,运动控制器包括聚焦平面运动控制单元和工作台运动控制单元,分别用于控制成像物镜组作竖直方向的上下移动、通过成像检测部件聚焦并将聚焦平面始终保持在光偏振敏感材料表面和用于控制载带有光偏振敏感材料的工作台在二维平面运动;电机驱动装置用于驱动电机带动所述聚焦平面和工作台运动。本实用新型采用高精度工作台精确控制样品做二维平面移动,对于实现大幅面书写具有重大意义。

主权项:1.一种运动控制系统,其特征在于,包括工作台、运动控制器、电机和电机驱动装置,所述运动控制器用于将采集的包括运动信息的光路数据转换成控制信号并发送给各执行部件;所述运动控制器包括聚焦平面运动控制单元和工作台运动控制单元;所述聚焦平面运动控制单元,用于控制成像物镜组作竖直方向的上下移动,通过成像检测部件聚焦并将聚焦平面始终保持在光偏振敏感材料表面;所述工作台运动控制单元,用于控制载带有光偏振敏感材料的工作台在二维平面运动,以实现偏振光场拼接或者不同偏振光场之间的互联;所述电机驱动装置用于驱动电机带动所述聚焦平面和工作台运动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州大学;华东理工大学 运动控制系统

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