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【实用新型】分析盘面_上海先普气体技术有限公司_201921805517.2 

申请/专利权人:上海先普气体技术有限公司

申请日:2019-10-25

公开(公告)日:2020-07-28

公开(公告)号:CN211122759U

主分类号:G01N33/00(20060101)

分类号:G01N33/00(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.07.28#授权

摘要:本实用新型公开了分析盘面,属于半导体技术领域。它包括进气管、调压阀、手动隔膜阀、流量计、气体水分测定仪本体,所述气体水分测定仪本体包括进气口和出气口,所述进气管的一端与进气口相连通,所述调压阀与进气管相连通。本实用新型首先打开调压阀,使被检测气体从气体纯化器内,依次经过进气管、进气口进入气体水分测定仪本体中,由第二支管上的压力表显示压力值,同时增加旁路,设置手动隔膜阀,流量计限流,当水分测定仪本体检测气体水份较高时,调节流量计,增大吹扫流量,加快管道吹扫速度,从而降低检测时间。

主权项:1.分析盘面,其特征在于:包括进气管、调压阀、手动隔膜阀、流量计、气体水分测定仪本体,所述气体水分测定仪本体包括进气口和出气口,所述进气管的一端与进气口相连通,所述调压阀与进气管相连通,所述进气管还连通有第一支管,且第一支管位于调压阀和气体水分测定仪本体之间,所述手动隔膜阀和流量计依次与第一支管相连通,所述手动隔膜阀位于流量计和进气管之间,所述第一支管上还连通有第二支管,所述第二支管位于手动隔膜阀和进气管之间,所述第二支管的一端连通有压力表。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海先普气体技术有限公司 分析盘面

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