申请/专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司

申请日：2019-09-12

公开（公告）日：2020-07-28

公开（公告）号：CN211109921U

主分类号：B65G49/07(20060101)

分类号：B65G49/07(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.28#授权

摘要：本实用新型公开了一种硅片叠片快速分离装置，包括底座、硅片治具和吹气分离机构，所述硅片治具设置在底座上，所述吹气分离机构安装在底座上、且具有分别位于硅片治具相对两侧的两组；硅片依次叠片放置于所述硅片治具上，所述硅片治具连接顶升丝杆机构，所述顶升丝杆机构驱动叠设的硅片上升；所述吹气分离机构包括支撑座、均设置在该支撑座上的硅片检测传感器和吹气分离器；所述硅片检测传感器用于在硅片上升至目标位置时发出启动信号，所述吹气分离机构用于在接收启动信号后向顶层硅片和第二层硅片之间吹气。本实用新型的硅片叠片快速分离装置，配合吸料机械手使用时将第二片硅片和顶层硅片分离，确保硅片取料的稳定、有序进行。

主权项：1.一种硅片叠片快速分离装置，其特征在于：包括底座、硅片治具和吹气分离机构，所述硅片治具设置在底座上，所述吹气分离机构安装在底座上、且具有分别位于硅片治具相对两侧的两组；硅片依次叠片放置于所述硅片治具上，所述硅片治具连接顶升丝杆机构，所述顶升丝杆机构驱动叠设的硅片上升；所述吹气分离机构包括支撑座、均设置在该支撑座上的硅片检测传感器和吹气分离器；所述硅片检测传感器用于在硅片上升至目标位置时发出启动信号，所述吹气分离机构用于在接收启动信号后向顶层硅片和第二层硅片之间吹气。

全文数据：

权利要求：

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