申请/专利权人：亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司

申请日：2020-04-20

公开（公告）日：2020-07-31

公开（公告）号：CN111468344A

主分类号：B05B13/06(20060101)

分类号：B05B13/06(20060101);B05D1/12(20060101);B05D3/04(20060101);B05D7/22(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.03.09#授权;2020.08.25#实质审查的生效;2020.07.31#公开

摘要：本发明提供了一种还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉，涉及多晶硅装备技术领域。该喷涂装置包括钟罩、旋转部件、密封部件、抽真空部件、排气部件和冷气体动力喷涂部件，利用密封部件使得钟罩内部形成密闭空间后，通过抽真空部件、冷气体动力喷涂部件和排气部件使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下，再采用冷气体动力喷涂部件向钟罩内壁喷涂粉末使其在钟罩内壁形成涂层，其中，在喷涂前使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下可避免喷涂过程中涂层发生氧化，能够最大限度保留涂层材料的本征性能，同时，利用高温保护性气体将钟罩内壁预热，使得在较低的喷涂条件下，获得高结合强度的涂层。本发明还提供了还原炉钟罩内壁喷涂方法。

主权项：1.一种还原炉钟罩内壁喷涂装置，其特征在于，包括钟罩、旋转部件、密封部件、抽真空部件、排气部件和冷气体动力喷涂部件；所述旋转部件设置于所述钟罩外侧，用于驱动钟罩的旋转；所述密封部件设置于所述钟罩的开口处，用于使所述钟罩内部形成密闭空间；所述抽真空部件和所述排气部件均通过所述密封部件与所述钟罩内部连通；所述冷气体动力喷涂部件设置于所述钟罩内部并与所述密封部件连接，用于向所述钟罩内输送高温保护性气体和喷涂粉末。

全文数据：

权利要求：

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