申请/专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司

申请日：2020-03-03

公开（公告）日：2020-09-08

公开（公告）号：CN211445883U

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.08#授权

摘要：本实用新型公开了一种旋转靶绑定的旋转定位装置，包括用于固定旋转靶的底座，底座设置有驱动部和夹持部，夹持部旋转安装于驱动部，底座的一侧设置有定位柱，定位柱套设有滑动定位部，滑动定位部滑动安装于定位柱，滑动定位部设置有上定位部，上定位部与定位柱之间设置有设定距离，在对旋转靶进行定位时，夹持部固定旋转靶的一端，上定位部抵压旋转靶的另一端。本实用新型的旋转定位装置，适用性强，功能性强，提高旋转靶的绑定质量。

主权项：1.一种旋转靶绑定的旋转定位装置，包括用于固定旋转靶13的底座10，其特征在于：底座10设置有驱动部11和夹持部20，夹持部20旋转安装于驱动部11，底座10的一侧设置有定位柱12，定位柱12套设有滑动定位部，滑动定位部滑动安装于定位柱12，滑动定位部设置有上定位部30，上定位部30与定位柱12之间设置有设定距离，在对旋转靶13进行定位时，夹持部20固定旋转靶13的一端，上定位部30抵压旋转靶13的另一端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 一种旋转靶绑定的旋转定位装置

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