申请/专利权人：阁壹系统集成设备(滁州)有限公司

申请日：2020-07-13

公开（公告）日：2020-09-11

公开（公告）号：CN111649235A

主分类号：F17C13/04(20060101)

分类号：F17C13/04(20060101);B08B9/032(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.12#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.11#公开

摘要：本发明提供一种特气柜系统及其抽真空的方法，包括抽真空系统，供气系统，吹扫系统和辅助管路系统，所述的抽真空系统与辅助管路系统配合连接；所述的供气系统分别与吹扫系统和辅助管路系统配合连接，通过真空系统先对特气柜系统进行抽真空，为保证特气柜系统内部残留的气体被完全抽出，然后利用吹扫系统充氮气进行管路吹扫，以抽真空‑充氮气‑抽真空的形式反复操作，至少10次以上，从而保证特气柜系统中的残留气体被完全抽出，防止残留气体的逃逸对操作人员或者空气造成危害，并保证特气柜在更换钢瓶时的安全。

主权项：1.一种特气柜系统，其特征在于：包括抽真空系统1，供气系统2，吹扫系统3和辅助管路系统4，所述的抽真空系统1与辅助管路系统4配合连接；所述的供气系统2分别与吹扫系统3和辅助管路系统4配合连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 阁壹系统集成设备(滁州)有限公司 一种特气柜系统及其抽真空的方法

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