申请/专利权人：洛阳高新四丰电子材料有限公司

申请日：2020-06-12

公开（公告）日：2020-09-11

公开（公告）号：CN111647860A

主分类号：C23C14/35(20060101)

分类号：C23C14/35(20060101);C23C14/34(20060101);B22F3/04(20060101);B22F3/10(20060101);B22F3/20(20060101);B22F3/24(20060101);B22F1/00(20060101);B22F5/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.03#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.11#公开

摘要：本发明提供一种长条型钼靶的制备方法，包括以下步骤：步骤一：选取适量的钼粉，进行胶套装粉，将装过粉的胶套进行冷等静压成型，得到坯体；步骤二：将步骤一得到的坯体在氢气保护气氛下进行烧结，得到烧结坯；步骤三：将步骤二得到的烧结坯先在氢气保护下进行加热，然后再进行热挤压，之后退火、校平；步骤四：将步骤三处理后的产品进行磨削等机加工，得到最终所需尺寸的钼靶材产品，本专利工艺步骤简单，制备的长条钼溅射靶材纯度、相对密度、晶粒度均满足TFT‑LCD显示镀膜领域使用需求，且生产成本低，产品尺寸宽泛，便于工业化批量生产。

主权项：1.一种长条型钼靶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：选取适量的钼粉，进行胶套装粉，将装过粉的胶套进行冷等静压成型，得到坯体；步骤二：将步骤一得到的坯体在氢气保护气氛下进行烧结，得到烧结坯；步骤三：将步骤二得到的烧结坯先在氢气保护下进行加热，然后再进行热挤压，之后退火、校平；步骤四：将步骤三处理后的产品进行磨削等机加工，得到最终所需尺寸的钼靶材产品。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 洛阳高新四丰电子材料有限公司 一种长条型钼靶的制备方法

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