申请/专利权人：华海清科(北京)科技有限公司

申请日：2020-07-30

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN211507602U

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权

摘要：本申请涉及一种晶圆支撑装置，包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆；和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆，从而确保所述晶圆始终得到支撑并被保持在期望的位置。本申请能够确保在晶圆处理过程中的任何时候均有支撑结构对晶圆起到支撑作用并将晶圆保持在期望的位置，从而有效避免由于滚轮粘附晶圆引起的跌落和交互失败，提高晶圆处理操作的可靠性和稳定性。

主权项：1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，以通过第一晶圆支撑轮组的滚轮与第二晶圆支撑轮组的滚轮支撑晶圆，以及对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架，以在第一晶圆支撑轮组的滚轮和第二晶圆支撑轮组的滚轮未支撑所述晶圆时支撑所述晶圆，从而确保所述晶圆始终得到支撑并被保持在期望的位置；所述第一晶圆支撑轮组包括安装在第一底座上的第一对滚轮，所述第二晶圆支撑轮组包括安装在第二底座上的第二对滚轮，所述第一底座和所述第二底座沿水平方向相对设置，所述第一对心支架设置在所述第一对滚轮之间并通过第一安装臂与位于相对侧的所述第二底座相连以与所述第二底座形成联动，所述第二对心支架设置在所述第二对滚轮之间并通过第二安装臂与位于相对侧的所述第一底座相连以与所述第一底座形成联动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华海清科(北京)科技有限公司 晶圆支撑装置

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