申请/专利权人：山东新恒汇电子科技有限公司

申请日：2020-07-24

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111668141A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L23/495(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：一种引线框架的蚀刻工艺，属于引线框架生产技术领域。其特征在于：包括如下步骤：步骤1）将腐蚀液仅喷至引线框架（1）两表面的中部，对引线框架（1）的中部进行预蚀刻，预蚀刻完成后将腐蚀液吸走；步骤2）将腐蚀液喷至引线框架（1）两个表面上，并使腐蚀液覆盖引线框架（1）的两个表面，对引线框架（1）的整个表面进行蚀刻，蚀刻完成后将腐蚀液吸走，然后再对引线框架（1）水洗；步骤3）将碱液喷至引线框架（1）两侧的表面上，使掩膜与引线框架（1）脱离，然后对引线框架（1）水洗；步骤4）对引线框架（1）进行电镀处理；步骤5）对引线框架（1）进行注塑封装。本发明提高了引线框架表面蚀刻的均匀性，生产的引线框架质量稳定。

主权项：1.一种引线框架的蚀刻工艺，其特征在于：包括如下步骤：步骤1）将腐蚀液仅喷至引线框架（1）两表面的中部，对引线框架（1）的中部进行预蚀刻，预蚀刻完成后将腐蚀液吸走；步骤2）将腐蚀液喷至引线框架（1）两个表面上，并使腐蚀液覆盖引线框架（1）的两个表面，对引线框架（1）的整个表面进行蚀刻，蚀刻完成后将腐蚀液吸走，然后再对引线框架（1）水洗；步骤3）将碱液喷至引线框架（1）两侧的表面上，使掩膜与引线框架（1）脱离，然后对引线框架（1）水洗；步骤4）对引线框架（1）进行电镀处理；步骤5）对引线框架（1）进行注塑封装。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东新恒汇电子科技有限公司 一种引线框架的蚀刻工艺

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