申请/专利权人：江苏和达电子科技有限公司;四川和晟达电子科技有限公司

申请日：2020-07-08

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111663138A

主分类号：C23F1/18(20060101)

分类号：C23F1/18(20060101);C23F1/26(20060101);G02F1/13(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明提供一种液晶面板含铜叠层薄膜蚀刻液及其应用，所述蚀刻液包括主剂和辅剂，所述主剂和辅剂中金属铜缓蚀剂均为氨基咔唑类金属缓蚀剂。在本发明中选用氨基咔唑类金属缓蚀剂作为主剂和辅剂中的金属缓蚀剂，降低了产品成本，而且该类缓蚀剂使得蚀刻液对IGZO的电学性能无影响，蚀刻效果更好。

主权项：1.一种液晶面板含铜叠层薄膜蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液包括主剂和辅剂，所述主剂和辅剂中金属铜缓蚀剂均为氨基咔唑类金属缓蚀剂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏和达电子科技有限公司;四川和晟达电子科技有限公司 一种液晶面板含铜叠层薄膜蚀刻液及其应用

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