申请/专利权人：开元通信技术(厦门)有限公司

申请日：2020-06-29

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111669147A

主分类号：H03H9/64(20060101)

分类号：H03H9/64(20060101);H03H9/145(20060101);H03H9/72(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本申请公开了一种体声波器件，包括由下至上依次叠加的衬底层、第一电极层、压电层、第二电极层，所述衬底层的上表面设置有声反射层；所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域，所述有效区域与第一电极层引出端对应的层边界的顶角、与第二电极层引出端对应的层边界的顶角均为弧状顶角。本申请中体声波器件的有效区域对应第一电极层引出端、第二电极层引出端的层边界的顶角均为弧状顶角，可以避免出现图形失真，降低了体声波器件的制造难度，同时减小体声波器件的应力，进而提高体声波器件的机械强度和抗静电能力。此外，本申请还提供一种具有上述优点的滤波装置。

主权项：1.一种体声波器件，其特征在于，包括：由下至上依次叠加的衬底层、第一电极层、压电层、第二电极层，所述衬底层的上表面设置有声反射层；所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域，所述有效区域与第一电极层引出端对应的层边界的顶角、与第二电极层引出端对应的层边界的顶角均为弧状顶角。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 开元通信技术(厦门)有限公司 一种体声波器件及滤波装置

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