申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日：2020-05-19

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111668337A

主分类号：H01L31/101(20060101)

分类号：H01L31/101(20060101);H01L31/18(20060101);H01L25/07(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.02#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明提供了一种探测器，其包括：探测芯片、温度传感器件、电绝缘层；所述电绝缘层设置于所述探测芯片的正表面上，所述温度传感器件设置于所述电绝缘层的背向所述正表面的表面上。本发明还提供了一种探测器的制作方法以及探测装置。本发明通过将温度传感器件通过片上集成的方式直接集成到探测芯片上，即集成到探测芯片的外表面，从而实现对探测芯片自身的工作温度进行直接和连续地实时监测，同时无需对探测芯片的结构进行改变，进而也就不需要重新设计探测器芯片的制作工艺。

主权项：1.一种探测器，其特征在于，包括：探测芯片、温度传感器件、电绝缘层；所述电绝缘层设置于所述探测芯片的正表面上，所述温度传感器件设置于所述电绝缘层的背向所述正表面的表面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 探测器及其制作方法、探测装置

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