申请/专利权人：麦斯克电子材料有限公司

申请日：2020-03-27

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN211507579U

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);G01F23/292(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权

摘要：一种防止液位误报警的高温溶液槽装置，涉及半导体制造技术领域，包括溶液槽及与溶液槽连通的连通管路，在连通管路上连接一三通接头，三通接头的第一接口与连通管路连通，三通接头的第二接口连通高纯氮气管路，三通接头的第三接口连接一液位检测管路，液位检测管路同时与溶液槽和连通管路连通，且液位检测管路和连通管路的液位随溶液槽的液位变化而变化，液位检测管路上设有用于检测液位的光电传感器。本实用新型有益效果：解决了现有设备在片盒清洗过程中，液位检测管路容易凝结小水滴，造成设备误报警的问题。

主权项：1.一种防止液位误报警的高温溶液槽装置，包括溶液槽（1）及与溶液槽（1）连通的连通管路（2），其特征在于：在连通管路（2）上连接一三通接头，三通接头的第一接口与连通管路（2）连通，三通接头的第二接口连通高纯氮气管路（3），三通接头的第三接口连接一液位检测管路（6），液位检测管路（6）同时与溶液槽（1）和连通管路（2）连通，且液位检测管路（6）和连通管路（2）的液位随溶液槽（1）的液位变化而变化，液位检测管路（6）上设有用于检测液位的光电传感器（5）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯克电子材料有限公司 一种防止液位误报警的高温溶液槽装置

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