申请/专利权人：硅微结构股份有限公司

申请日：2020-03-05

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111664907A

主分类号：G01F15/02(20060101)

分类号：G01F15/02(20060101)

优先权：["20190305 US 62/814,253","20200105 US 16/734,359"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.04#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：具有外壳110，410的可靠的流量传感器100，其具有可预测的热变化和减小的机械公差，用于更一致的流体流动和更一致的流量测量。通过在硅块110，410中使用蚀刻结构，可以使热变化可预测。使用光刻和高精度半导体制造设备和技术可以降低机械公差。

主权项：1.一种流量传感器100，包括:第一硅块110,包括:顶表面和底表面，以及从顶表面延伸到底表面的通道120；感测电阻器130，其周向地位于顶表面中的开口周围，顶表面中的开口由通道120形成；和难熔电阻器140,其周向地位于顶表面中的开口周围；和第二硅块410,包括:引导气流经过第一硅块110的顶表面的通道420。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 硅微结构股份有限公司 流量传感器

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