申请/专利权人：夏普株式会社

申请日：2020-03-05

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111668244A

主分类号：H01L27/146(20060101)

分类号：H01L27/146(20060101)

优先权：["20190308 US 62/815407"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.14#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：一种摄像面板及其制造方法，摄像面板1具备光电转换层15，通过在光电转换层15上具有第1开口105a的无机绝缘膜105覆盖光电转换层15的表面的一部分。在无机绝缘膜105上，设置有具有开口宽度大于第1开口105a的第2开口106a的有机绝缘膜106，在第2开口106a的内侧，保护膜107覆盖未被有机绝缘膜106覆盖的无机绝缘膜105的表面。保护膜107相对于包含酸的蚀刻剂的蚀刻速率等于或大于无机绝缘膜105。第1开口105a中的光电转换层15的表面、以及保护膜107的表面由电极14b覆盖。

主权项：1.一种摄像面板，其特征在于，具备：光电转换层；无机绝缘膜，其覆盖上述光电转换层的表面的一部分，在俯视时与上述光电转换层重叠的位置具有第1开口；有机绝缘膜，其覆盖上述无机绝缘膜的表面的一部分，具有俯视时与上述第1开口重叠并且开口宽度大于上述第1开口的第2开口；保护膜，其在上述第2开口的内侧覆盖于未被上述有机绝缘膜覆盖的上述无机绝缘膜上；以及电极，其覆盖上述保护膜、以及上述第1开口的内侧的上述光电转换层的表面，上述保护膜相对于包含酸的蚀刻剂的蚀刻速率等于或大于上述无机绝缘膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 夏普株式会社 摄像面板及其制造方法

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