申请/专利权人：信越化学工业株式会社

申请日：2020-03-05

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111662249A

主分类号：C07D303/40(20060101)

分类号：C07D303/40(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/039(20060101)

优先权：["20190306 JP 2019-040260"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.04.18#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明涉及环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法。本发明的课题为提供无损感度而能适当地控制产生自产酸剂的酸的扩散长度的抗蚀剂组合物、及使用了该抗蚀剂组合物的图案。该课题的解决方法为以下式1表示的环氧化合物、及含有该环氧化合物的抗蚀剂组合物。式中，X1及X2分别独立地为‑CH2‑或‑O‑。kA为0或1。R1及R2分别独立地为碳数4～20的叔烃基、或选自于下式中的基团。式中，虚线为价键。

主权项：1.一种环氧化合物，以下式1表示； 式中，X1及X2分别独立地为-CH2-或-O-；kA为0或1；R1及R2分别独立地为碳数4～20的叔烃基、或选自于下式中的基团； 式中，虚线为价键。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信越化学工业株式会社 环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法

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