【发明公布】影像复合检测系统_汉民科技股份有限公司_202010143512.9 

申请/专利权人:汉民科技股份有限公司

申请日:2020-03-04

发明/设计人:黄继震;黄祈欣;谢宏宗;黄胜茂

公开(公告)日:2020-09-15

代理机构:上海专利商标事务所有限公司

公开(公告)号:CN111665246A

代理人:郭蔚

主分类号:G01N21/84(20060101)

地址:中国台湾台北市大安区敦化南路2段38号14楼

分类号:G01N21/84(20060101);G01N23/2206(20180101);G01N23/2251(20180101);G01N23/2252(20180101);G01N23/04(20180101)

优先权:["20190305 TW 108107292"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.09.15#公开

摘要:一种影像复合检测系统,整合一电子显微装置和若干支援倍率相同或不同的光学显微装置,待测物在真空舱体中接受电子显微装置的检测,并且在大气环境中接受设置于一光学检测区内的该多个光学显微装置的检测以建立该待测物的光学全景影像和光学局部影像,通过电子显微装置和该多个光学显微装置的结合,有效地扩大影像辨识的倍率。

主权项:1.一种影像复合检测系统,其特征在于,包含:一第一舱体,其提供容置一待测物的一真空环境;一电子显微装置设置于该第一舱体上,其在该真空环境中检测该待测物;一光学检测区位于该第一舱体外,其提供该待测物的一大气环境;一第一光学显微装置设置于该光学检测区的范围内,其在该大气环境中检测该待测物,其中该第一光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学全景影像;一第二光学显微装置设置于该光学检测区的范围内,其在该大气环境中检测该待测物,其中该第二光学显微装置包括用以建立该待测物的一光学局部影像;及一移载模块移载该待测物到该第一舱体中以进行检测或到该光学检测区内以进行检测。

全文数据:

权利要求:

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