申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司

申请日：2020-03-04

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111665211A

主分类号：G01N21/3504(20140101)

分类号：G01N21/3504(20140101);G01N21/01(20060101)

优先权：["20190308 EP 19161699.4"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.07#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本公开涉及气体传感器。根据一个实施例，一种气体传感器包括：具有腔体的基底，腔体用于为具有中心波长λ0的已滤波IRIR＝红外辐射与腔体中的目标气体的交互提供光学交互路径，其中腔体对于包含目标气体组分的环境气体；被布置用于发射宽带IR辐射的热发射器，其中热发射器光学耦合到腔体；被布置用于滤波由热发射器发射的宽带IR辐射并且用于在腔体中提供中心波长为λ0的已滤波IR辐射的波长选择结构，其中波长选择元件光学耦合在热发射器与腔体之间，或者其中波长选择元件被形成为腔体的结合结构；以及被布置为基于已经穿过腔体中的光学交互路径并且被IR检测器接收的已滤波IR辐射的信号强度来提供检测器输出信号的IR检测器。

主权项：1.一种气体传感器100，包括：具有腔体120的基底110，所述腔体120用于为具有中心波长λ0的已滤波IR辐射R与所述腔体120中的目标气体的交互提供光学交互路径120-1，其中所述腔体120对于包括所述目标气体组分的环境气体是可进入的，热发射器130，被布置用于发射宽带IR辐射R0，其中所述热发射器130被光学耦合到所述腔体120，波长选择结构140，被布置用于滤波由所述热发射器130发射的所述宽带IR辐射R0、并且用于在所述腔体120中提供所述中心波长为λ0的所述已滤波IR辐射R，其中所述波长选择元件140被光学耦合在所述热发射器130与所述腔体120之间，或者其中所述波长选择元件140被形成为所述腔体120的结合结构，IR检测器150，被布置为基于已经穿过所述腔体120中的所述光学交互路径120-1并且被所述IR检测器150接收的所述已滤波IR辐射的信号强度来提供检测器输出信号SOUT。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 气体传感器

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