申请/专利权人:日新离子机器株式会社
申请日:2020-02-27
公开(公告)日:2020-09-15
公开(公告)号:CN111668143A
主分类号:H01L21/677(20060101)
分类号:H01L21/677(20060101);H01L21/67(20060101)
优先权:["20190307 JP 2019-041285"]
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态:2022.08.30#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.09.15#公开
摘要:本发明涉及一种可在外壳内冷却或加热经加热后的基板,并且可提高处理量的基板收容装置。本发明的解决手段为一种基板收容装置10,其具备:外壳11,在内部呈真空的状态下收容多片基板S;温度改变装置40,改变被收容于外壳11内的基板S的温度;以及移送机构20,在以既定间隔分离的状态下保持被收容于外壳11内的多片基板S,并且在外壳11内,将基板S从由外壳11的外部所送入的送入位置F,移送到用以送出至外壳11的外部的送出位置E为止;且移送机构20构成为:伴随着新的基板S被收容于外壳11内,从先被收容于外壳11的基板S开始依次移送到送出位置E。
主权项:1.一种基板收容装置,其具备:外壳,在内部呈真空的状态下收容多片基板;温度改变装置,改变被收容于所述外壳内的所述基板的温度;以及移送机构,在以既定间隔分离的状态下保持被收容于所述外壳内的多片所述基板,并且在所述外壳内,将所述基板从由所述外壳的外部所送入的送入位置,移送到用以送出至所述外壳的外部的送出位置为止;且所述移送机构构成为:伴随着新的所述基板被收容于所述外壳内,从先被收容于所述外壳的所述基板开始依次移送到所述送出位置。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 日新离子机器株式会社 基板收容装置
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