申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司

申请日：2020-02-25

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111664874A

主分类号：G01D5/241(20060101)

分类号：G01D5/241(20060101);G01H11/06(20060101);G01L1/14(20060101)

优先权：["20190308 EP 19161626.7"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.12.07#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：公开了一种传感器，该传感器具有膜电极、对电极、以及至少一个弹簧。尤其是，根据示例的传感器可以包括：结构12；膜电极14，其作为受到压力的结果是可变形的，并且与结构12接触；对电极16，其被机械地连接到结构12，并且通过间隙18与膜电极14分隔开；以及至少一个弹簧20，其被机械地连接到膜电极14和对电极16，以便在膜电极14和对电极16之间施加弹性力。

主权项：1.一种传感器10，包括：结构12；膜电极14，所述膜电极14作为受到压力的结果是可变形的，并且所述膜电极14与所述结构12接触；对电极16，其被机械地连接到所述结构12并且通过间隙18与所述膜电极14分隔开；以及至少有一个弹簧20，其在所述膜电极14和所述对电极16之间，以便在所述膜电极14和所述对电极16之间施加弹性力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 具有膜电极、对电极、以及至少一个弹簧的传感器

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