【实用新型】LIBS系统_蔚海光学仪器(上海)有限公司_201922323076.9 

申请/专利权人:蔚海光学仪器(上海)有限公司

申请日:2019-12-19

发明/设计人:李勇;潘嘉杰;张昊翔;孙玲

公开(公告)日:2020-09-15

代理机构:上海立群专利代理事务所(普通合伙)

公开(公告)号:CN211505177U

代理人:杨楷;毛立群

主分类号:G01N21/01(20060101)

地址:201108 上海市闵行区金都路1165弄123号23幢1号三楼

分类号:G01N21/01(20060101);G01N21/63(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.09.15#授权

摘要:本实用新型公开了一种LIBS系统,包括:激光装置,能够向待检测物发射激光;至少一台光谱装置,能够检测并分析经等离子体刻蚀的所述待检测物发出的光谱;以及时序控制装置,所述时序控制装置能够基于同一时钟源向所述激光装置和所述光谱装置发送控制信号,当光谱装置为一台时,时序控制装置基于同一时钟源向激光装置和光谱装置发送控制信号,能够消除因激光装置和光谱装置基于不同基准时钟运行而产生的信号延迟,提高了光谱采集的准确性,当光谱装置为多台时,不仅克服了光谱装置对外部触发信号激光发射信号的响应的触发延迟抖动,而且实现了多个光谱装置或同一光谱装置的多个通道的同步运行,进而实现了同时对多个待测样品的检测。

主权项:1.一种LIBS系统,其特征在于,包括:激光装置,能够向待检测物发射激光;至少一台光谱装置,能够检测并分析经等离子体刻蚀的所述待检测物发出的光谱;以及时序控制装置,所述时序控制装置能够基于同一时钟源向所述激光装置和所述光谱装置发送控制信号。

全文数据:

权利要求:

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