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【实用新型】玻璃基板的清洗装置_日本电气硝子株式会社_201922118596.6 

申请/专利权人:日本电气硝子株式会社

申请日:2019-11-29

公开(公告)日:2020-09-15

公开(公告)号:CN211488968U

主分类号:B08B11/04(20060101)

分类号:B08B11/04(20060101);B08B3/02(20060101);B08B3/08(20060101);B08B13/00(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.09.15#授权

摘要:本实用新型提供一种能够使清洗液的浓度恒定的玻璃基板的清洗装置。玻璃基板G的清洗装置1具备:贮存清洗液C的清洗液箱2;输送清洗液箱2内的清洗液C的清洗液泵3;清洗部4,其使用由清洗液泵3输送的清洗液C来清洗玻璃基板G;传感器5,其测量清洗液C的浓度;原液箱6,其贮存清洗液C的原液U;以及原液泵7,其输送原液箱6内的清洗液C的原液U,在清洗装置1中,以传感器5测量的清洗液C的浓度达到规定浓度的方式,向清洗液箱2输送清洗液C的原液U。

主权项:1.一种玻璃基板的清洗装置,具备:清洗液箱,其贮存清洗液;清洗液泵,其输送所述清洗液箱内的清洗液;清洗部,其使用由所述清洗液泵输送的清洗液来清洗玻璃基板;传感器,其测量清洗液的浓度;原液箱,其贮存清洗液的原液;以及原液泵,其输送所述原液箱内的清洗液的原液,其特征在于,以所述传感器测量的清洗液的浓度达到规定浓度的方式,向所述清洗液箱输送清洗液的原液。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本电气硝子株式会社 玻璃基板的清洗装置

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