【发明公布】检测设备及检测方法_深圳中科飞测科技有限公司_201910518119.0 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技有限公司

申请日:2019-06-14

发明/设计人:陈鲁;黄有为;崔高增

公开(公告)日:2020-09-15

代理机构:

公开(公告)号:CN111665259A

代理人:

主分类号:G01N21/95(20060101)

地址:518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101 201 301

分类号:G01N21/95(20060101);G01B11/06(20060101);G01B11/30(20060101)

优先权:["20190308 CN 2019101756254"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.09.15#公开

摘要:本发明提供一种检测设备及检测方法,其中,检测设备,包括:第一探测光源,用向待测物第一探测区发射第一探测光;探测装置,用于接收所述第一探测区返回的第一探测光;离焦测量系统,用于测量待测物相对于检测系统的离焦度,包括:第二探测光源,用于向待测物第二探测区发射第二探测光;接收组件,用于接收经所述第二探测区返回的第二探测光,并根据返回的第二探测光获取第二探测区离焦度,所述第二探测区与所述第一探测区至少部分重合;调节装置,用于根据所述离焦度调节待测物和检测系统之间的相对位置关系。所述检测系统能够增加检测结果的精度。

主权项:1.一种检测设备,其特征在于,包括:检测系统,包括:第一探测光源,用于向待测物第一探测区发射第一探测光;探测装置,用于接收所述第一探测区返回的第一探测光;离焦测量系统,用于测量待测物相对于检测系统的离焦度,包括:第二探测光源,用于向待测物第二探测区发射第二探测光;接收组件,用于接收经所述第二探测区返回的第二探测光,并根据返回的第二探测光获取第二探测区离焦度,所述第二探测区与所述第一探测区至少部分重合;调节装置,用于根据所述离焦度调节待测物和检测系统之间的相对位置关系,减小离焦度。

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